[实用新型]放电离子化电流检测器

权利要求书

1.一种放电离子化电流检测器，其特征在于，具有： 

中空状的检测器主体； 

管柱，所述管柱向所述检测器主体内供给试样气体； 

等离子体生成气体供给通路，所述等离子体生成气体供给通路向所述检测器主体内供给等离子体生成气体； 

等离子体产生部，所述等离子体产生部通过放电使等离子体生成气体电离，而产生等离子体； 

离子化电流检测部，所述离子化电流检测部基于通过自等离子体的激发光而被离子化的试样气体中的试样成分，来检测离子化电流； 

排气通路，所述排气通路排出所述检测器主体内的气体，由于对通过的气体具有规定的阻尼，从而在所述检测体主体内产生压力；以及 

压力传感器，所述压力传感器测定所述检测器主体内的压力。 

2.如权利要求1所述的放电离子化电流检测器，其特征在于，所述排气通路中包含有：相对于所述离子化电流检测部从所述等离子体生成气体供给通路侧排出所述检测器主体内的气体的第一排气通路，以及相对于所述离子化电流检测部从所述等离子体生成气体供给通路侧的相反侧排出所述检测器主体内的气体的第二排气通路。 

3.如权利要求2所述的放电离子化电流检测器，其特征在于，所述压力传感器设置于所述第一排气通路。