[实用新型]一种蒸镀炉有效
申请号: | 201320583778.0 | 申请日: | 2013-09-22 |
公开(公告)号: | CN203513786U | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 陈海婴 | 申请(专利权)人: | 和宏华进纳米科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 竺路玲 |
地址: | 201500 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蒸镀炉 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种蒸镀设备的技术领域,尤其涉及一种能够对工件进行均匀蒸镀的蒸镀炉。
背景技术
蒸镀是通过蒸镀炉对镀膜材料加热使其气化沉积在基体或工件,如手机壳体,在其表面以形成薄膜或涂层的工艺。理论上蒸镀炉能够在金属、半导体、绝缘体甚至塑料、纸张、织物表面上沉积金属、半导体、绝缘体、不同成分比的合金、化合物及部分有机聚合物等的薄膜。
但现有的蒸镀炉对工件蒸镀不均匀,容易造成蒸镀完成的产品出现色差的情况。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种蒸镀炉,以解决现有的蒸镀炉对工件蒸镀不均匀,容易造成蒸镀完成的产品出现色差的问题。
为了实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
一种蒸镀炉,其中,包括:一蒸镀炉炉体,所述蒸镀炉炉体的内部为空腔;一与所述蒸镀炉炉体枢设的蒸镀炉炉门,所述蒸镀炉炉门可打开或封闭所述蒸镀炉炉体的所述空腔;所述蒸镀炉炉体的所述空腔底部沿水平方向设有一转料盘,所述转料盘的中央沿竖直方向安装一蒸镀炉电极,所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的工件支架,每一所述工件支架包括一转轴,所述转轴沿竖直方向设置在所述转料盘的外缘,所述转料盘可转动地带动所述工件支架绕所述蒸镀炉电极旋转;所述转料盘的底部还分别设置若干所述旋转机构,每一所述工件支架与每一所述旋转机构一一对应,所述转料盘通过所述旋转机构带动所述工件支架绕其自身自转。
上述的一种蒸镀炉,其中,所述转轴靠近上下两端的位置分别套设一上连接部和一下连接部,所述上连接部和所述下连接部之间固设若干悬挂杆,每一所述悬挂杆从上至下设有若干用于悬挂工件的悬挂件。
上述的一种蒸镀炉,其中,所述上连接部和所述下连接部均包括若干根连接杆,若干所述连接杆在其中央位置重合,并形成平面形状,同时,相邻的两所述连接杆之间的角度相同;所述转轴的下端贯穿所述下连接部的若干所述连接杆的中央,所述转轴的上端贯穿所述上连接部的若干所述连接杆的中央。
上述的一种蒸镀炉,其中,所述下连接部的每一所述连接杆的两端分别通过两所述悬挂杆与所述上连接部的一所述连接杆的两端固定连接;并且所述下连接部的每一所述连接杆和所述上连接部的每一所述连接杆均开设若干用于连接所述悬挂杆的通孔。
上述的一种蒸镀炉,其中,所述蒸镀炉电极包括若干电极支撑杆、电极底座以及电极顶板;若干所述电极支撑杆沿竖直方向固设于所述电极底座和所述电极顶板之间,并且所述电极底座位于所述转料盘的中央,所述转料盘绕所述电极底座旋转;每一所述电极支撑杆从上至下设有若干电极连接杆,相邻的两所述电极支撑杆的每一对电极连接杆之间设有电极丝。
上述的一种蒸镀炉,其中,所述电极支撑杆的数量为两根,每一所述电极支撑杆从上至下沿水平方向分别设有两排若干所述电极连接杆,两排所述电极连接杆分别朝向背对方向,并且两所述电极支撑杆的相互靠近的每一对所述电极连接杆相互平行,同时,每一对所述电极连接杆之间位于同一高度。
上述的一种蒸镀炉,其中,两所述电极支撑杆的相互靠近的每一所述电极连接杆的头部设有安装平台,每一所述电极丝的两侧位于两所述电极连接杆的安装头部;每一所述电极连接杆的尾部弯折形成一弯折部,每一所述电极连接杆通过所述弯折部套设于所述电极支撑杆上。
上述的一种蒸镀炉,其中,所述转料盘的底部还包括一第一齿轮,所述第一齿轮与所述转料盘同心,并且所述第一齿轮与若干所述旋转机构驱动连接。
上述的一种蒸镀炉,其中,每一所述旋转机构包括:分别安装在一第一转轴下端的一第二齿轮和安装在所述第一转轴上端的一第三齿轮;安装在一第二转轴上的第四齿轮;安装在一第三转轴上的第五齿轮;所述第一转轴、所述第二转轴和所述第三转轴分别与所述转料盘的底部固定连接,所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合连接,所述第三齿轮与所述第四齿轮啮合连接,所述第四齿轮与所述第五齿轮啮合连接。
上述的一种蒸镀炉,其中,每一所述旋转机构的所述第三转轴与每一所述工件支架的转轴相连接。
本实用新型由于采用了上述技术,使之与现有技术相比具有的积极效果是:
(1)每一电极支撑杆从上至下以相同间隔设置若干电极连接杆,有效地提高安装在电极连接杆上的电极丝的均匀分布性,使得工件悬挂于支架,转料盘绕蒸镀炉旋转的时候,工件能够均匀地蒸镀。
(2)通过旋转机构的使用,使得转动转料盘时,工件支架不仅能够绕着蒸镀炉电极旋转,同时也能够通过旋转机构带动工件支架绕自身自转,有效地提高工件蒸镀的均匀性。
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