[实用新型]一种蒸镀炉有效

专利信息
申请号: 201320583778.0 申请日: 2013-09-22
公开(公告)号: CN203513786U 公开(公告)日: 2014-04-02
发明(设计)人: 陈海婴 申请(专利权)人: 和宏华进纳米科技(上海)有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 竺路玲
地址: 201500 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 蒸镀炉
【权利要求书】:

1.一种蒸镀炉,其特征在于,包括: 

一蒸镀炉炉体,所述蒸镀炉炉体的内部为空腔; 

一与所述蒸镀炉炉体枢设的蒸镀炉炉门,所述蒸镀炉炉门可打开或封闭所述蒸镀炉炉体的所述空腔; 

所述蒸镀炉炉体的所述空腔底部沿水平方向设有一转料盘,所述转料盘的中央沿竖直方向安装一蒸镀炉电极,所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的工件支架,每一所述工件支架包括一转轴,所述转轴沿竖直方向设置在所述转料盘的外缘,所述转料盘可转动地带动所述工件支架绕所述蒸镀炉电极旋转; 

所述转料盘的底部还分别设置若干所述旋转机构,每一所述工件支架与每一所述旋转机构一一对应,所述转料盘通过所述旋转机构带动所述工件支架绕其自身自转; 

所述蒸镀炉电极包括若干电极支撑杆、电极底座以及电极顶板;若干所述电极支撑杆沿竖直方向固设于所述电极底座和所述电极顶板之间,并且所述电极底座位于所述转料盘的中央,所述转料盘绕所述电极底座旋转;每一所述电极支撑杆从上至下设有若干电极连接杆,相邻的两所述电极支撑杆的每一对电极连接杆之间设有电极丝; 

所述电极支撑杆的数量为两根,每一所述电极支撑杆从上至下沿水平方向分别设有两排若干所述电极连接杆,两排所述电极连接杆分别朝向背对方向,并且两所述电极支撑杆的相互靠近的每一对所述电极连接杆相互平行,同时,每一对所述电极连接杆之间位于同一高度。 

2.根据权利要求1所述蒸镀炉,其特征在于,所述转轴靠近上下两端的位置分别套设一上连接部和一下连接部,所述上连接部和所述下连接部之间固设若干悬挂杆,每一所述悬挂杆从上至下设有若干用于悬挂工件的悬挂件。 

3.根据权利要求2所述蒸镀炉,其特征在于,所述上连接部和所述下连接部均包括若干根连接杆,若干所述连接杆在其中央位置重合,并形成平面形状,同时,相邻的两所述连接杆之间的角度相同;所述转轴的下端贯穿所述下连 接部的若干所述连接杆的中央,所述转轴的上端贯穿所述上连接部的若干所述连接杆的中央。 

4.根据权利要求3所述蒸镀炉,其特征在于,所述下连接部的每一所述连接杆的两端分别通过两所述悬挂杆与所述上连接部的一所述连接杆的两端固定连接;并且所述下连接部的每一所述连接杆和所述上连接部的每一所述连接杆均开设若干用于连接所述悬挂杆的通孔。 

5.根据权利要求1所述蒸镀炉,其特征在于,两所述电极支撑杆的相互靠近的每一所述电极连接杆的头部设有安装平台,每一所述电极丝的两侧位于两所述电极连接杆的安装头部;每一所述电极连接杆的尾部弯折形成一弯折部,每一所述电极连接杆通过所述弯折部套设于所述电极支撑杆上。 

6.根据权利要求1所述蒸镀炉,其特征在于,所述转料盘的底部还包括一第一齿轮,所述第一齿轮与所述转料盘同心,并且所述第一齿轮与若干所述旋转机构驱动连接。 

7.根据权利要求6所述蒸镀炉,其特征在于,每一所述旋转机构包括:分别安装在一第一转轴下端的一第二齿轮和安装在所述第一转轴上端的一第三齿轮;安装在一第二转轴上的第四齿轮;安装在一第三转轴上的第五齿轮;所述第一转轴、所述第二转轴和所述第三转轴分别与所述转料盘的底部固定连接,所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合连接,所述第三齿轮与所述第四齿轮啮合连接,所述第四齿轮与所述第五齿轮啮合连接。 

8.根据权利要求7所述蒸镀炉,其特征在于,每一所述旋转机构的所述第三转轴与每一所述工件支架的转轴相连接。 

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