[实用新型]太阳能硅片腐蚀稳定、均匀的提篮有效
| 申请号： | 201320564772.9 | 申请日： | 2013-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN203423152U | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 梁海;毛仕平;何云海 | 申请（专利权）人： | 浙江启鑫新能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人： | 代忠炯 |
| 地址： | 315700 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太阳能 硅片 腐蚀 稳定 均匀 提篮 | ||
【权利要求书】：
1.一种太阳能硅片腐蚀稳定、均匀的提篮，包括篮体，所述的篮体包括底板（1）和与底板（1）连接的四个侧壁；所述的底板（1）上设有若干供腐蚀溶液穿过的第一通孔（1.1）；所述的四个侧壁分为左右对称的左侧壁（2）和右侧壁（3），前后对称的前侧壁（4）和后侧壁（5）；所述的四个侧壁上均设有供腐蚀溶液穿过的第二通孔（6）；其特征在于：所述的前侧壁（4）和后侧壁（5）的外侧面上对称设有提手（10），所述的前侧壁（4）和后侧壁（5）的底部对称设有卡槽（9）。
2.根据权利要求1所述的太阳能硅片腐蚀稳定、均匀的提篮，其特征在于：所述的左侧壁（2）和右侧壁（3）的上沿为向下凹陷的弧形面（7）。
3.根据权利要求1所述的太阳能硅片腐蚀稳定、均匀的提篮，其特征在于：所述的底板（1）上方设有分隔条（1.2）。
4.根据权利要求1所述的太阳能硅片腐蚀稳定、均匀的提篮，其特征在于：所述的前侧壁（4）和后侧壁（5）的上部对称设有第三通孔（8）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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