[实用新型]存放方便的太阳能硅片用石墨舟片有效
| 申请号: | 201320563095.9 | 申请日: | 2013-09-11 |
| 公开(公告)号: | CN203419982U | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
| 发明(设计)人: | 梁海;毛仕平;何云海 | 申请(专利权)人: | 浙江启鑫新能源科技股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人: | 代忠炯 |
| 地址: | 315700 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 存放 方便 太阳能 硅片 石墨 | ||
1.一种存放方便的太阳能硅片用石墨舟片,包括石墨舟片本体(1),设置于石墨舟片本体(1)上的若干硅片定位腔体(2);所述的每个硅片定位腔体(2)外边缘设有固定硅片(4)的固定工艺点,所述的固定工艺点包括第一固定工艺点(1.1)、第二固定工艺点(1.2)和第三固定工艺点(1.3);每个固定工艺点上均设有用于放置硅片(4)的卡点(3),其特征在于:所述的第三固定工艺点(1.3)上方还设有第四固定工艺点(1.4),所述的卡点(3)为菱形卡点。
2.根据权利要求1所述的存放方便的太阳能硅片用石墨舟片,其特征在于:所述的石墨舟片外表面设有减少折射率的镀膜(5)。
3.根据权利要求1所述的存放方便的太阳能硅片用石墨舟片,其特征在于:所述的第三固定工艺点(1.3)或第四固定工艺点(1.4)距离第一固定工艺点(1.1)或第二固定工艺点(1.2)的水平距离为62-78mm。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





