[实用新型]研磨垫调整器及研磨装置

权利要求书

1.一种研磨垫调整器，用于对研磨垫进行平整化处理，其特征在于，所述研磨垫调整器包括：

外框、调整头、入液管、排液管以及毛刷；其中，所述调整头设于所述外框内，并使所述调整头与研磨垫相对的表面暴露出，所述毛刷设于所述调整头与所述研磨垫相对的表面上，所述调整头设有毛刷的表面还设有若干小孔，所述入液管设于所述调整头内，并贯穿所述调整头设有毛刷的表面以及与设有毛刷表面平行的另一表面，所述排液管设于所述调整头和外框内，并与所述小孔连通。

2.如权利要求1所述的研磨垫调整器，其特征在于，所述毛刷充满所述调整头的表面并均匀排列。

3.如权利要求1所述的研磨垫调整器，其特征在于，所述小孔呈“V”字型排列在所述调整头设有毛刷的表面。

4.如权利要求3所述的研磨垫调整器，其特征在于，所述毛刷均匀排列在所述小孔的周围。

5.如权利要求1所述的研磨垫调整器，其特征在于，所述外框和调整头的材质均为不锈钢。

6.一种研磨装置，其特征在于，包括：

研磨垫、研磨头、研磨液喷头以及如权利要求1至5中任意一种研磨垫调整器；所述研磨头和研磨垫调整器均设于所述研磨垫的表面，所述研磨液喷头位于所述研磨垫的上方，所述研磨头、研磨液喷头以及研磨垫调整器彼此独立。

7.如权利要求6所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨装置还包括位于所述研磨垫上方的等离子水喷头，所述等离子水喷头与所述研磨头、研磨液喷头以及研磨垫调整器相互独立。

8.如权利要求6所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨装置还包括一旋转臂，所述旋转臂与所述研磨垫相互独立，所述研磨垫调整器固定在所述旋转臂上。