[实用新型]检测电阻率的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体装置领域，尤其涉及一种检测电阻率的装置。

背景技术

在半导体制造过程中，需要对不同工艺形成的薄膜进行电阻率的检测，以监控生产出的薄膜是否符合工艺的要求。

请参考图1，图1为现有技术中检测电阻率的装置结构示意图，所述检测电阻率的装置包括：检测盘10、固定夹21、固定座22、运输盘30以及检测头40，其中，所述检测盘10用于盛放待测晶圆，所述固定夹21位于所述检测盘10表面待测晶圆上方，并与所述固定座22固定连接；所述运输盘30通过一活动臂31连接所述检测头40，所述活动臂31能够带动所述检测头40上下水平移动。

在具体检测过程中，根据待测晶圆表面的薄膜不同，选择需要的检测头40并由人工安装至所述运输盘30上，进行检测时，运输盘30将所述检测头40运输至所述固定夹21处，并下移将所述检测头40放入所述固定夹21内，由所述固定件21夹紧所述检测头40，此时所述运输盘30移开，检测台10开始带动待测晶圆进行运动，同时检测头40开始对所述待测晶圆进行电阻率的检测。

然而，由于现有技术中检测电阻率的装置一次只能使用一种类型的检测头，当需要对不同薄膜进行电阻率检测时，就需要使用人工更换检测头，这不仅导致检测时间的加长降低了检测机台的检测效率，而且手动误操作还容易带来检测头污染以及检测头接口处的接触不良，降低检测头使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种检测电阻率的装置，能够自动选择不同的

为了实现上述目的，本实用新型提出一种检测电阻率的装置，用于检测待测晶圆的电阻率，所述装置包括：

承载台、检测盘、固定部件、运输部件以及多个检测头；其中，所述检测盘放置于所述承载台上，所述固定部件位于所述检测盘的上方，所述运输部件位于所述承载台上方，所述运输部件包括运输盘和旋转盘，所述运输盘和旋转盘相连，所述检测头设置在所述旋转盘上。

进一步的，所述运输盘上设有红外感应器。

进一步的，所述运输盘连接一运输臂。

进一步的，所述检测盘的个数大于等于1。

进一步的，所述固定部件包括固定夹和固定座，所述固定夹位于所述检测盘的上方并与所述固定座相连。

进一步的，所述检测头的个数大于等于2。

进一步的，所述检测头均匀分布在所述旋转盘上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于，将多个检测头放置在旋转盘上，当对不同类型的晶圆进行阻值检测时，可以根据不同的需求选择不同的检测头，避免了频繁的手动更换检测头，提高了检测效率，同时大大减少了人工操作产生的意外。

附图说明

图1为现有技术中检测电阻率的装置结构示意图；

图2为本实用新型一实施例中检测电阻率的装置结构示意图；

图3为本实用新型一实施例中检测盘和运输部件的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型的检测电阻率的装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参考图2和图3，在本实施例中，提出了一种检测电阻率的装置，用于检测待测晶圆的电阻率，所述装置包括: