[实用新型]检测电阻率的装置有效
| 申请号： | 201320557521.8 | 申请日： | 2013-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN203444014U | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 曹艳;李广宁 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检测 电阻率 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种检测电阻率的装置，用于检测待测晶圆的电阻率，其特征在于，所述装置包括：
承载台、检测盘、固定部件、运输部件以及多个检测头；其中，所述检测盘放置于所述承载台上，所述固定部件位于所述检测盘的上方，所述运输部件位于所述承载台上方，所述运输部件包括运输盘和旋转盘，所述运输盘和旋转盘相连，所述检测头设置在所述旋转盘上。
2.如权利要求1所述的检测电阻率的装置，其特征在于，所述运输盘上设有红外感应器。
3.如权利要求2所述的检测电阻率的装置，其特征在于，所述运输盘连接一运输臂。
4.如权利要求1所述的检测电阻率的装置，其特征在于，所述检测盘的个数大于等于1。
5.如权利要求1所述的检测电阻率的装置，其特征在于，所述固定部件包括固定夹和固定座，所述固定夹位于所述检测盘的上方并与所述固定座相连。
6.如权利要求1所述的检测电阻率的装置，其特征在于，所述检测头的个数大于等于2。
7.如权利要求6所述的检测电阻率的装置，其特征在于，所述检测头均匀分布在所述旋转盘上。
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