[实用新型]玻璃导管和玻璃板的制造装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及在对熔融玻璃进行加热的同时进行搬送的玻璃导管和制造玻璃板的玻璃板的制造装置。

背景技术

对于液晶显示器或等离子显示器等平板显示器（以下，称作“FPD”。）所使用的玻璃基板，采用厚度为例如0.5～0.7mm的薄玻璃板。该FPD用玻璃基板例如在第1代时为300×400mm的尺寸，但在第10代时成为了2850×3050mm的尺寸。

对于这样的第8代以后的大尺寸的FPD用玻璃基板、例如在玻璃表面形成TFT（Thin Film Transistor：薄膜晶体管）的玻璃基板，为了防止TFT的特性劣化，适合应用这样的玻璃板：其完全不含碱金属，或者即使含有也是少量含有。另外，对于这样的玻璃板，由于热收缩极小，因此也适合用于下述情况：进行400～500℃的热处理以在玻璃表面形成多晶硅TFT。

另一方面，在完全不含碱金属或者即使含有也是少量含有的玻璃板的制造阶段，熔融玻璃的高温粘性较高。因此，在用于进行熔融玻璃的脱泡的澄清槽，为了有效地进行上述熔融玻璃的脱泡，使上述熔融玻璃升温至比含有碱金属的现有的熔融玻璃高的温度。另外，在澄清处理中，在熔融玻璃中含有澄清剂，所述澄清剂用于排出氧气等而使熔融玻璃内的泡成长，但从近来的降低环境负担的观点出发，多使用使熔融玻璃成为1600～1630℃以上的高温来有效地发挥脱泡处理功能的SnO₂等澄清剂来代替澄清功能大但毒性高的As₂O₃。

根据以上的理由，在澄清槽中熔融玻璃被加热至1600℃以上的高温。关于这样的加热，为了从使玻璃原料熔解而形成熔融玻璃的熔解槽进行几百摄氏度的升温，在用于将熔融玻璃从熔解槽搬送至澄清槽的玻璃导管上设有电极，所述电极对金属制成的玻璃导管进行通电加热来对搬送中的熔融玻璃加热。

另外，在用于将熔融玻璃从澄清槽搬送至澄清槽的后续工序、即用于使熔融玻璃均质化的搅拌槽的玻璃导管上，为了将熔融玻璃的温度调整为所希望的温度，也设有电极，所述电极对金属制成的玻璃导管进行通电加热来对搬送中的熔融玻璃加热。

另外，在用于将熔融玻璃从搅拌槽搬送至成型装置的玻璃导管上，为了将熔融玻璃的温度调整为所希望的温度，并且为了对金属制成的玻璃导管进行通电加热来对搬送中的熔融玻璃加热，也设有电极。

在玻璃导管上设置电极的情况下，一般经在玻璃导管的管主体的周向上环绕的凸缘将电极与玻璃导管的管主体连接。可是，由于电极从一个方向与管主体连接，因此在管主体中流动的电流容易在管的周向上的一部分局部存在化。因此，通电加热也局部存在化，玻璃导管的周向上的温度具有不同的分布，也会对熔融玻璃的加热产生影响，从而在熔融玻璃中产生温度差。对于该温度差，在通过成型工序成型出玻璃片时，容易因玻璃片的厚度的变动而在玻璃表面产生凸凹。另外，由于温度低的部分存在于玻璃导管的周向上的一部分，因此该部分的玻璃容易失透。

另外，在将熔融玻璃加热至所希望的温度时，为了使电流流过通电加热不充分的部分，在电极和凸缘中也都流动过量的电流，从而凸缘超出需要地被加热，进而管的一部分也超出需要地被加热至高温。

关于这样的玻璃导管，提出有用于将电极与玻璃导管连接来高效地对玻璃导管进行通电加热的电极相对于玻璃导管的连接方式。

例如，已知有可以防止通电加热用的电极的局部过度加热的熔融玻璃用的中空管体（玻璃导管）（专利文献1）。

该中空管体是具有用于进行通电加热的用途的铂或铂合金制成的中空管的中空管体，在中空管的外周接合有环状的电极。在该环状的电极的外缘接合有一个或一个以上的引出电极，环状的电极由铂或铂合金制成的电极中心部和设在该电极中心部的外侧的铂或铂合金制成或者铂以外的金属材料制成的厚壁部构成。

专利文献1：国际公开2006/132044号小册子

在上述的中空管体的环状的电极的外缘，设有在电极中心部的外侧设置的铂或铂合金制成或者铂以外的金属材料制成的厚壁部，从而使电流比以往均匀地在中空管的周向上流动。因此，防止了通电加热用的电极的局部过度加热。可是，在该中空管中，由于从相对的方向在中空管设置两个引出电极，因此电极的配置变得复杂，从而容易形成烦杂的装置结构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够采用与以往不同的方式来高效地进行熔融玻璃的通电加热的玻璃导管和使用该玻璃导管来制作玻璃板的玻璃板的制造装置。