[实用新型]一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台

说明书

技术领域

本实用新型涉及光刻机硅片台线缆台，该系统主要应用于半导体光刻机中，属于半导体制造设备技术领域。

背景技术

为了满足硅片台大行程和高速、高精度的苛刻要求，传统的线缆台通常采用工程塑料拖链正交叠层的结构。随着磁浮硅片台技术的发展，硅片台平面电机动子厚度逐渐变薄，电缆数量增加，采用工程塑料拖链正交叠层结构的线缆台在厚度上和宽度上逐渐到达极限，无法突破；另外，随着线缆数量的增加，线缆的重量也随之增加，对于硅片台平面电机动子的运动也造成了干扰，限制了硅片台平面电机动子的运动速度和精度，妨碍了其加速度的提高。

实用新型内容

为了降低线缆对硅片台运动的干扰，从而提高光刻机硅片台平面电机动子的速度、加速度和定位精度，进而促进光刻机的生产率、套刻精度和分辨率，本实用新型提供一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台。

本实用新型的技术方案如下：一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台，其特征在于：所述的线缆台含有从平面电机引出的线缆束、柔性关节、Y方向直线气浮导轨滑块机构、X方向直线导轨滑块机构和X方向直线电机；所述的线缆束与所述的X方向直线导轨滑块机构的滑块连接，所述的X方向直线电机驱动X方向直线导轨滑块机构的滑块沿着X方向运动；所述的柔性关节含有第一滚珠轴承、第二滚珠轴承和一个沿X方向布置的微型直线导轨滑块机构；所述的第一滚珠轴承沿Y方向布置，第一滚珠轴承的转轴与微型直线导轨滑块机构的导轨连接，第一滚珠轴承的轴套和所述的第二滚珠轴承的轴套通过一个连接块固定在一起；所述的微型直线导轨滑块机构的滑块通过一个T形连接块与平面电机的动子连接在一起；第二滚珠轴承沿Z轴方向布置，第二滚珠轴承的转轴与所述的Y方向直线气浮导轨滑块机构的滑块连接在一起；所述的Y方向直线气浮导轨滑块机构是通过一个L型连接板与X方向直线导轨滑块机构的滑块连接在一起。

本实用新型的另一技术特征在于：在所述的柔性关节上安装有两个光电位置探测器，两个光电位置探测器对称布置在第二滚珠轴承的两侧；每个光电位置探测器包括一个光电位置传感器和一个激光准直器，两个激光准直器分别固定在一个V型连接板上，而该V型连接板则与所述的Y方向气浮直线导轨滑块机构的滑块固定在一起，两个光电位置传感器则位于T形连接块上，并分别对应于一个激光准直器，并保证每个激光准直器垂直于光电位置传感器的感光面。

本实用新型的又一技术特征是：在所述的Y方向直线气浮导轨滑块机构和X方向直线导轨滑块机构上分别安装有线性光栅尺。

本实用新型的技术方案中，所述的线缆束采用扁平的线缆排管。

本实用新型具有以下优点及突出性技术效果：通过安装的柔性关节使得线缆台可以绕X轴、绕Y轴和绕Z轴三个自由度的自由转动，避免了线缆束对平面电机动子运动的干扰，进而降低了线缆束对三自由度工作台的响应速度和其运动过程中的速度、加速度和运动定位精度的影响。

图附说明

图1是本实用新型所述的一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台的结构示意图。

图2是本实用新型中X方向直线导轨滑块机构和X方向直线电机的连接结构示意图。

图3是本实用新型中柔性关节和Y方向气浮直线导轨滑块机构的连接结构示意图。

图4是本实用新型所述的一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台的Y方向线性光栅尺组件的结构示意图。

图中：1—平面电机动子；2—平面电机定子；4—基座；5—X方向直线导轨滑块机构；6—Y方向气浮直线导轨滑块机构；7—柔性关节；8—线缆束；9—X方向直线电机；10—连接块；11—第一滚珠轴承；12—第二滚珠轴承；13—微型直线导轨滑块机构；14—直线滑块安装架；16—T形连接块；17—V型连接板；18—L型连接板；21—X方向线性光栅尺组件；22—Y方向线性光栅尺组件；31—激光准直器；32—光电位置传感器。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体结构、原理和工作过程作进一步的说明。

图1是本实用新型所述的一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台的结构示意图，在本实施例中，该工件台包括平面电机，线缆台和基座4，所述的平面电机包含一个平面电机动子1和一个平面电机定子2。线缆台含有从平面电机引出的线缆束8、一个柔性关节7、一个Y方向直线气浮导轨滑块机构6、一个X方向直线导轨滑块机构5和一个X方向直线电机9。