[实用新型]一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台

权利要求书

1.一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台，其特征在于：所述的线缆台含有从平面电机引出的线缆束（8）、柔性关节（7）、Y方向直线气浮导轨滑块机构（6）、X方向直线导轨滑块机构（5）和X方向直线电机（9）；所述的线缆束（8）与所述的X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块连接，所述的X方向直线电机（9）驱动X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块沿着X方向运动；所述的柔性关节（7）含有第一滚珠轴承（11）、第二滚珠轴承（12）和一个沿X方向布置的微型直线导轨滑块机构（13）；所述的第一滚珠轴承（11）沿Y方向布置，第一滚珠轴承的转轴与微型直线导轨滑块机构（13）的导轨连接，第一滚珠轴承的轴套和所述的第二滚珠轴承（12）的轴套通过一个连接块（10）固定在一起；所述的微型直线导轨滑块机构（13）的滑块通过一个T形连接块（16）与平面电机的动子连接在一起；第二滚珠轴承（12）沿Z轴方向布置，第二滚珠轴承（12）的转轴与所述的Y方向直线气浮导轨滑块机构（6）的滑块连接在一起；所述的Y方向直线气浮导轨滑块机构（6）是通过一个L型连接板（18）与X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块连接在一起。

2.按照权利要求1所述的一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台，其特征在于：在所述的柔性关节（7）上安装有两个光电位置探测器（30），两个光电位置探测器对称布置在第二滚珠轴承（12）的两侧；每个光电位置探测器（30）包括一个光电位置传感器（31）和一个激光准直器（32）；两个激光准直器分别固定在一个V型连接板（17）上，而该V型连接板（17）则与所述的Y方向气浮直线导轨滑块机构（6）的滑块固定在一起；两个光电位置传感器（32）则位于T形连接块（16）上，并分别对应于一个激光准直器（31），并保证每个激光准直器（31）垂直于光电位置传感器（32）的感光面。

3.按照权利要求1所述的一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台，其特征在于：在所述的Y方向直线气浮导轨滑块机构（6）和X方向直线导轨滑块机构（5）上分别安装有线性光栅尺。

4.按照权利要求1所述的一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台，其特征在于：所述的线缆束（8）采用扁平的线缆排管。