[实用新型]薄壳容器工件抽真空及真空回填系统

说明书

技术领域：

   本实用新型涉及薄壳容器箱内抽真空、检漏、回填系统。

背景技术：

   对于真空氦检漏，抽真空和回填真空是必不可少的环节，但对于薄壳容器来说，传统的工件与真空箱分别独立抽真空和回填真空，真空箱容积与工件容积有差异，真空箱抽空泵与工件抽空泵抽速有差异，真空箱真空回填阀与工件放气阀回填速度差异，因此薄壳容器工件内外压差无法控制，而薄壳容器承压能力较差，一般要求容器内外压差都要控制在一定的范围，因此传统抽空回填工艺很容易造成被测工件损坏无法使用。

实用新型内容：

本实用新型的目的是提供一种防止薄壳容器工件在回填真空过程中因真空箱内与工件内压差造成的变形损坏的薄壳容器工件抽真空及真空回填系统。

本实用新型是这样实现的：

薄壳容器工件抽真空及真空回填系统，工件2置于真空箱1内，在真空箱外有联通阀4分别与工件、真空箱和工位阀5连接，真空箱与其外的抽空阀3、真空回填阀7连接，抽空阀与真空泵6连接。

工件2的抽空口与联通阀4的非密封阀板端接口连接，真空箱1与联通阀4的密封阀板端连接。

联通阀处4于开启状态，，工位阀5与工件抽空口联通，工位阀5处于关闭状态，真空回填阀7关闭，真空箱1关闭密封，真空泵6启动，抽空阀3打开，此时工件2与真空箱1一起处于被真空泵6抽空状态，抽至工件需求的真空度，关闭联通阀4，打开工位阀5，此时工件进行保压检大漏、放氮、平衡、回收工序；工件2检漏回收完成后，关闭工位阀5，打开联通阀4，工件2与真空箱1联通，抽空阀3处于关闭状态，打开真空回填阀7，对真空箱和工件同时回填。

本实用新型有如下优点：

1，在工件抽空口处安装一个联通阀，在真空箱抽空时将联通阀门打开，这样就将工件容积与真空箱容积联通，使工件内部与真空箱内腔形成一个容积，在抽空时工件内外压差就得到有效控制，可控制工件内外压差在一定的范围，防止了薄壳容器工件在抽真空过程中因真空箱内与工件内压差造成的变形损坏。

2，在工件做相关工序动作时联通阀处于关闭状态，将真空箱容积与工件容积断开，使薄壳容器工件处于独立容器状态。

3，在工件检漏回收结束后，工位阀关闭，联通阀打开，真空箱内腔与工件内腔连为一体，一起作真空回填，这样在回填时工件内外压差可以得到有效的控制，可控制工件内外压差在一定的范围，防止了薄壳容器工件在回填真空过程中因真空箱内与工件内压差造成的变形损坏。

附图说明：

图1为本实用新型结构图。

具体实施方式：

本实用新型由薄壳容器工件、真空箱、联通阀门、回填真空阀门、抽空阀门、抽空泵组、工位阀组成，工件2置于真空箱1内，在真空箱外有联通阀4分别与工件、真空箱和工位阀5连接，真空箱与其外的抽空阀3、真空回填阀7连接，抽空阀与真空泵6连接。

将真空箱1的门板8打开，工件2放置于真空箱1中，将工件2的抽空口与联通阀4的非密封阀板端接口连接，关闭门板8，真空箱1与联通阀4密封阀板端连接，联通阀处4于开启状态，工位阀5与工件抽空口联通，工位阀5处于关闭状态，真空回填阀7关闭，真空箱1关闭密封，真空泵6启动，抽空阀3打开，此时工件2与真空箱1一起处于被真空泵6抽空状态，抽至工件需求的真空度，关闭联通阀4，打开工位阀5，此时工件可以进行相关工序工作；工件2检漏回收完成后，关闭工位阀5，打开联通阀4，工件2与真空箱1联通，抽空阀3处于关闭状态，打开真空回填阀7，对真空箱和工件同时回填,回填完毕后，打开门板8。