[实用新型]薄壳容器工件抽真空及真空回填系统

权利要求书

1.薄壳容器工件抽真空及真空回填系统，其特征在于工件（2）置于真空箱（1）内，在真空箱外有联通阀（4）分别与工件、真空箱和工位阀（5）连接，真空箱与其外的抽空阀（3）、真空回填阀（7）连接，抽空阀与真空泵（6）连接。

2.根据权利要求1所述的 薄壳容器工件抽真空及真空回填系统，其特征在于工件（2）的抽空口与联通阀（4）的非密封阀板端接口连接，真空箱（1）与联通阀（4）的密封阀板端连接。

3.根据权利要求2所述的 薄壳容器工件抽真空及真空回填系统，其特征在于联通阀处（4）于开启状态，工位阀（5）与工件抽空口联通，工位阀（5）处于关闭状态，真空回填阀（7）关闭，真空箱（1）关闭密封，真空泵（6）启动，抽空阀（3）打开，此时工件（2）与真空箱（1）一起处于被真空泵（6）抽空状态，抽至工件需求的真空度，关闭联通阀（4），打开工位阀（5），此时工件进行保压检大漏、放氮、平衡、回收工序；工件（2）检漏回收完成后，关闭工位阀（5），打开联通阀（40），工件（2）与真空箱（1）联通，抽空阀（3）处于关闭状态，打开真空回填阀（7），对真空箱和工件同时回填。