[实用新型]一种基板支撑台及基板检测装置有效
申请号: | 201320464510.5 | 申请日: | 2013-07-31 |
公开(公告)号: | CN203337164U | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 张然;庞华山 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | G01D11/16 | 分类号: | G01D11/16 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 支撑 检测 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及到液晶显示装置生产检测的技术领域,尤其涉及到一种基板支撑台及基板检测装置。
背景技术
目前液晶显示装置行业内普遍采用宏观检查设备检测基板,在检测时通过基板支撑台来支撑基板。如图1和图2所示,图1为现有技术中的基板支撑台的俯视图;图2为现有技术中的吸盘支撑件的结构示意图。现有技术中的基板支撑台包括:底座10,设置于所述底座10的多个吸盘支撑件20,所述吸盘支撑件20通过管道60与气泵30连通,所述管道60上设有检测气压的气压表50。具体的,所述吸盘支撑件20包括:吸盘21以及支撑所述吸盘21的导气管22,所述导气管22包括:与所述吸盘21连接且具有通孔的连接杆221,以及与所述连接杆221螺纹连接且具有通孔的螺纹杆222。其具体工作如下:在基板放置到基板支撑平台时,气泵30吹气,气体通过吸盘21作用在基板上使其气浮,工作人员调整基板放置位置。当调整好基板放置位置后,气泵30开始抽气,从而使吸盘21把基板吸牢固定,防止基板在检查过程中从基板支撑台上脱落。
现有技术的缺陷在于,当基板调整放置位置时,由于吸盘老化漏气或者局部吸盘气压较低,使得基板没有完全气浮,基板的一些部位还与吸盘有接触,从而造成基板在移动时,被与基板接触的吸盘划伤。
实用新型内容
本实用新型提供了一种基板支撑台及基板检测装置,用以提高基板在检测时的安全性。
本实用新型提供了一种基板支撑台,包括:
底座;
气泵;
设置于所述底座的多个滚珠支撑件;每一个所述滚珠支撑件包括:顶端具有容纳槽的支撑杆,设置于所述容纳槽内并可任意转动的滚珠,所述滚珠探出所述容纳槽支撑所述基板;
设置于所述底座的多个吸盘支撑件,每一个吸盘支撑件包括:吸盘以及支撑所述吸盘并将吸盘与气泵连通的导气管。
上述实施例中,在基板调整放置位置时,通过滚轮支撑件支撑基板改善了基板在调整位置时被划伤的状况,提高了基板的安全性能。
优选的,所述滚珠与所述容纳槽的底部之间设有弹性连接件。通过采用弹性连接件实现了基板通过气浮和滚珠同时在基板调整放置位置时对基板的支撑。进一步改善了基板在调整位置时被划伤的状况,提高了基板的安全性能。
优选的,所述滚珠支撑件还包括:位于所述容纳槽内且套装于所述滚珠外侧的支撑座,所述支撑座包括:与所述弹性连接件连接的环形底座,以及设置于所述环形底座并支撑所述滚珠的多个可任意转动的球体。采用支承座降低了滚珠和容纳槽之间的摩擦,从而增强了滚珠随着基板的移动而转动的灵活性,改善了基板在调整位置时被划伤的状况,提高了基板的安全性能。
优选的,所述滚珠支撑件还包括顶盖,所述顶盖具有直径小于所述滚珠直径的孔,所述滚珠顶部穿过所述孔露出。通过采用顶盖将滚珠限制在容纳槽内,避免了滚珠意外滚出容纳槽,提高了滚珠支撑件的可靠性。
优选的,所述支撑杆为伸缩杆。从而便于根据基板的实际情况调整滚珠支撑件的高度。具体的:
可选择的,所述伸缩杆包括具有容纳槽的第一支撑杆以及固定在所述底座上并与所述第一支撑杆螺纹连接的第二支撑杆。
可选择的,所述伸缩杆包括具有容纳槽的第三支撑杆以及套装于所述第三支撑杆内的第四支撑杆,且所述第三支撑杆的侧壁穿设有锁定螺栓,所述第三支撑杆通过锁定螺栓与所述第四支撑杆锁定。
优选的,所述基板支撑台还包括检测所述吸盘支撑件输出气体压力的气压表。避免吸盘支撑件的气压过小而造成吸盘支撑件无法正常工作。
本实用新型还提供了一种基板检测装置,包括上述任一种基板支撑台。具有改善基板在调整设置位置时被划伤的状况,提高了基板的安全性能。
附图说明
图1为现有技术中的基板支撑台的俯视图;
图2为现有技术中的吸盘支撑件的结构示意图;
图3为本实用新型实施例提供的基板支撑台的俯视图;
图4为本实用新型实施例提供的滚珠支撑件的结构示意图;
图5为本实用新型实施例提供的支撑座支撑滚珠的结构示意图;
图6为本实用新型实施例提供的滚珠支撑件的另一结构示意图。
附图标记:
10-底座 20-吸盘支撑件 21-吸盘
22-导气管 221-连接杆 222-螺纹杆
30-气泵 40-滚珠支撑件 41-滚珠
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