[实用新型]一种基板支撑台及基板检测装置

权利要求书

1.一种基板支撑台，其特征在于，包括：

底座；

气泵；

设置于所述底座的多个滚珠支撑件；每一个所述滚珠支撑件包括：顶端具有容纳槽的支撑杆，设置于所述容纳槽内并可任意转动的滚珠，所述滚珠探出所述容纳槽支撑所述基板；

设置于所述底座的多个吸盘支撑件，每一个吸盘支撑件包括：吸盘以及支撑所述吸盘并将吸盘与气泵连通的导气管。

2.如权利要求1所述的基板支撑台，其特征在于，所述滚珠与所述容纳槽的底部之间设有弹性连接件。

3.如权利要求2所述的基板支撑台，其特征在于，所述滚珠支撑件还包括：位于所述容纳槽内且套装于所述滚珠外侧的支撑座，所述支撑座包括：与所述弹性连接件连接的环形底座，以及设置于所述环形底座并支撑所述滚珠的多个可任意转动的球体。

4.如权利要求1～3任一项所述的基板支撑台，其特征在于，所述滚珠支撑件还包括顶盖，所述顶盖具有直径小于所述滚珠直径的孔，所述滚珠的顶部穿过所述孔露出。

5.如权利要求4所述的基板支撑台，其特征在于，所述支撑杆为伸缩杆。

6.如权利要求5所述的基板支撑台，其特征在于，所述伸缩杆包括具有容纳槽的第一支撑杆以及固定在所述底座上并与所述第一支撑杆螺纹连接的第二支撑杆。

7.如权利要求5所述的基板支撑台，其特征在于，所述伸缩杆包括具有容纳槽的第三支撑杆以及套装于所述第三支撑杆内的第四支撑杆，且所述第三支撑杆的侧壁穿设有锁定螺栓，所述第三支撑杆通过锁定螺栓与所述第四支撑杆锁定。

8.如权利要求1所述的基板支撑台，其特征在于，还包括检测所述吸盘支撑件输出气体压力的气压表。

9.一种基板检测装置，其特征在于，包括如权利要求1～8任一项所述的基板支撑台。