[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.MEMS麦克风，包括底板以及设置于所述底板上的MEMS芯片，所述底板的边缘部位罩设有外壳，所述MEMS芯片位于所述底板与所述外壳围成的空腔内，所述底板上对应所述MEMS芯片内腔的位置设有声孔;其特征在于，所述外壳顶部的外侧设有用于电连接所述MEMS麦克风与终端产品的焊盘，所述MEMS芯片与所述焊盘之间通过设置在所述外壳与所述底板之间的弹簧电连接，所述弹簧的一端固定于所述底板设有所述MEMS芯片的一侧，所述弹簧的另一端固定于所述外壳顶部的内侧。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述外壳包括顶板以及设置在所述顶板边缘部位的环状侧壁，所述环状侧壁的端部与所述底板相结合；所述焊盘设置于所述顶板的外侧；所述弹簧的另一端固定于所述顶板的内侧。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述弹簧的一端固定有一个金属片，所述金属片固定于所述顶板或所述底板上。

4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述弹簧的两端均固定有一个金属片，位于所述弹簧两端的所述金属片分别固定于所述顶板和所述底板上。

5.根据权利要求2至3任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述底板为PCB。

6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述顶板为PCB。