[实用新型]MEMS麦克风装置

权利要求书

1.MEMS麦克风装置，包括MEMS麦克风，所述MEMS麦克风由底板和外壳封装为一体，所述底板上设有MEMS芯片和声孔；其特征在于，还包括同时设置在所述MEMS麦克风两端和侧面的电连接组件，所述电连接组件与所述底板电连接，所述电连接组件上对应所述声孔的位置设有用于声波通过的通孔；所述电连接组件对应所述外壳的部位设有用于电连接所述MEMS麦克风与终端产品的焊盘。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风装置，其特征在于，所述电连接组件包括与所述底板电连接的第一电路板，所述通孔设置于所述第一电路板上；还包括设置于所述外壳外侧的第二电路板，所述焊盘设置于所述第二电路板上；所述第一电路板与所述第二电路板电连接。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风装置，其特征在于，所述第一电路板和所述第二电路板相对于所述MEMS麦克风同侧的一端均凸出所述MEMS麦克风，所述第一电路板与所述第二电路板凸出所述MEMS麦克风的部位电连接。

4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风装置，其特征在于，所述第一电路板与所述第二电路板凸出所述MEMS麦克风的部位之间设有第三电路板，所述第三电路板的两端分别与所述第一电路板和所述第二电路板电连接。

5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风装置，其特征在于，所述第三电路板与所述MEMS麦克风的侧壁紧密贴合，所述第三电路板的两个端面分别与所述第一电路板和所述第二电路板电连接。

6.根据权利要求4所述的MEMS麦克风装置，其特征在于，所述第三电路板为FPCB，所述第三电路板远离所述MEMS麦克风的侧面分别与所述第一电路板和所述第二电路板电连接。

7.根据权利要求3所述的MEMS麦克风装置，其特征在于，所述第一电路板凸出所述MEMS麦克风的部位设有第一延伸部，所述第一延伸部沿所述MEMS麦克风的侧壁向所述第二电路板延伸，所述第一延伸部的端部与所述第二电路板电连接。

8.根据权利要求3所述的MEMS麦克风装置，其特征在于，所述第二电路板凸出所述MEMS麦克风的部位设有第二延伸部，所述第二延伸部沿所述MEMS麦克风的侧壁向所述第一电路板延伸，所述第二延伸部的端部与所述第一电路板电连接。

9.根据权利要求2至8任一项所述的MEMS麦克风装置，其特征在于，所述第一电路板与所述第二电路板均为PCB。