[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201320444614.X | 申请日： | 2013-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN203368751U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 李欣亮;王顺;刘瑞宝 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 潍坊正信专利事务所 37216 | 代理人： | 王秀芝 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.MEMS麦克风，包括底板以及扣设在所述底板上的MEMS芯片，所述底板设有所述MEMS芯片的一侧罩设有外壳，所述底板上对应所述MEMS芯片内腔的位置设有声孔；其特征在于，所述外壳顶部的外侧设有第一电路板，所述第一电路板远离所述外壳的一侧设有用于电连接所述MEMS麦克风与终端产品的焊盘；所述外壳的顶部设有开孔，所述外壳内设有电连接件，所述电连接件穿过所述开孔电连接所述底板与所述第一电路板。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述电连接件与所述外壳之间留有用于连通所述电连接件两侧后声腔的空隙。
3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述电连接件上设有用于连通所述电连接件两侧后声腔的通孔。
4.根据权利要求2或3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述电连接件为第二电路板，所述第二电路板的两端分别与所述底板和所述第一电路板电连接。
5.根据权利要求2或3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述电连接件为所述底板向所述第一电路板伸出的第一延伸部，所述第一延伸部的端部与所述第一电路板电连接。
6.根据权利要求2或3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述电连接件为所述第一电路板向所述底板伸出的第二延伸部，所述第二延伸部的端部与所述底板电连接。
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