[实用新型]浆料再生装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种浆料再生装置，通过从在用线锯切断硅锭时所使用的废弃冷却液(有时将其称作“浆料”)去除切削屑等，从而将所述浆料再生为能够再利用的冷却液。

背景技术

太阳能电池等中所用的硅晶片通过用线锯将硅锭切薄而获得。硅锭的切断方式大致分为固定磨粒方式与游离磨粒方式。固定磨粒方式是使磨粒固定于线锯的方式，游离磨粒方式是使磨粒含在作为冷却剂的冷却液中的方式。无论是何种方式，在切断作业过程中，均须对用线锯切断硅锭的部位供应冷却液。由此，切断部位受到冷却，从而从切断部位排出切削屑。切断后的金属硅薄片附着有冷却液或切削屑等，因此，对其进行清洗而获得硅晶片。

在切断硅锭时所使用的废弃冷却液处于包含切削屑和磨粒等的泥状态。因此，废弃冷却液有时被称作浆料。为削减成本，对浆料进行再利用。但是，若直接进行再利用，则会因混入的切削屑等而导致硅晶片的表面划伤，或硅晶片发生破损，或线锯发生劣化。对此，例如通过国际公开第2013/035438号中公开的再生方法，从浆料去除切削屑等，将浆料再生为能够再利用的冷却液。

即，国际公开第2013/035438号中公开的浆料再生方法包括离心分离工序及膜分离工序。离心分离工序是对浆料进行离心分离，分离为以高浓度含有切削屑等的固体成分(淤泥)和以低浓度含有切削屑等的离心分离液，将固体成分去除，并将离心分离液混合到浆料中使其循环的工序。膜分离工序是对浆料进行膜分离，分离为浓缩含有切削屑等的浓缩液和几乎不含切削屑等的膜过滤液，将膜过滤液回收，并将浓缩液混合到浆料中使其循环的工序。并且，通过将在离心分离工序循环的离心分离液与在膜分离工序回收的膜过滤液予以混合，从而将浆料再生为能够再利用的冷却液。

此时，如国际公开第2013/035438号的说明书段落0036～0039中所记载，将从硅锭的切断现场回收的浆料贮存到贮存罐中，从该贮存罐将浆料分配供应到离心分离装置及膜分离装置，在离心分离装置中，一边使所述离心分离液向贮存罐循环，一边进行所述离心分离工序，在膜分离装置中，一边使所述浓缩液向贮存罐循环，一边进行所述膜分离工序。

在此，例如，当从硅锭的切断现场大量地回收了浆料时，所回收的浆料无法全部装入贮存罐中，浆料的回收作业甚至硅锭的切断作业有可能中断至贮存罐内的浆料量(将其称作“贮存量”)减少为止。相反，在硅锭的切断作业处于运行率低的状态下，浆料的回收量较少或为零时，贮存罐内的浆料有可能枯竭，出现无法进行浆料的再生处理的空闲时间。

实用新型内容

本实用新型鉴于浆料再生装置中产生的所述问题而作出，其目的在于提供一种无论浆料的回收量如何，均能够始终稳定地连续再生浆料的浆料再生装置，所述浆料再生装置将废弃冷却液(也就是浆料)再生为能够再利用的冷却液，所述废弃冷却液包含用线锯切断硅锭时产生的切削屑和磨粒。

本实用新型所涉及的浆料再生装置，是将废弃冷却液亦即浆料再生为能够再利用的冷却液的浆料再生装置，其中，所述废弃冷却液包含用线锯切断硅锭时产生的切削屑和磨粒，所述浆料再生装置包括：贮存罐，贮存进行再生处理的浆料；以及储备罐，用于储备向所述贮存罐供应的浆料。

根据本实用新型，由于具备用于储备向贮存进行再生处理的浆料的贮存罐供应的浆料的储备罐，因此，能够将从硅锭的切断现场回收的浆料暂且储备在储备罐中。因此，例如，当大量地回收了浆料时，通过将其储备在储备罐中，能够避免贮存罐溢出。因此，能够不中断浆料的回收作业甚至硅锭的切断作业而持续进行。相反，在浆料的回收量较少或为零时，通过从储备罐向贮存罐供应浆料，能够持续进行浆料的再生处理。因此，能够避免无法进行浆料的再生处理的空闲时间的产生。如上所述，通过具备储备罐，无论浆料的回收量如何，均能够始终稳定地连续再生浆料，能够实现浆料的回收进而再生产性的提高。

另外，在本实用新型中，所谓“磨粒”，例如包括固定磨粒方式中的从线锯脱落的磨粒及游离磨粒方式中的冷却液中所含的磨粒等。

在本实用新型中，较为理想的是，所述储备罐的容量被设定为比所述贮存罐的容量大的值。

根据该结构，能够在储备罐中储备大于贮存罐的容量的量的浆料，因此，浆料的回收量较少或为零时，能够长时间持续进行浆料的再生处理，进一步避免空闲时间的产生。

在本实用新型中，较为理想的是，所述储备罐的容量被设定为在硅锭的一次切断作业中所使用的冷却液的量的2～5倍。

根据该结构，能够在储备罐中储备硅锭的2～5次切断作业的浆料，因此，能够不中断硅锭的切断作业而持续进行的可能性进一步提高。