[实用新型]浆料再生装置

权利要求书

1.一种浆料再生装置，将废弃冷却液亦即浆料再生为能够再利用的冷却液，其中，所述废弃冷却液包含用线锯切断硅锭时产生的切削屑和磨粒，所述浆料再生装置的特征在于包括：

贮存罐，贮存进行再生处理的浆料；以及

储备罐，用于储备向所述贮存罐供应的浆料。

2.根据权利要求1所述的浆料再生装置，其特征在于：

所述储备罐的容量被设定为比所述贮存罐的容量大的值。

3.根据权利要求2所述的浆料再生装置，其特征在于：

所述储备罐的容量被设定为在硅锭的一次切断作业中所使用的冷却液的量的2～5倍。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的浆料再生装置，其特征在于还包括：

导管，连接所述储备罐与所述贮存罐；

泵，能够将所述储备罐内的浆料经由所述导管而输送到所述贮存罐；以及

供应调整控制部，驱动所述泵，使得浆料从所述储备罐经由所述导管被供应到所述贮存罐。

5.根据权利要求1所述的浆料再生装置，其特征在于还包括：

储备用导管，用于从硅锭的切断现场向所述储备罐供应浆料。

6.根据权利要求1所述的浆料再生装置，其特征在于还包括：

再生处理部，从所述贮存罐导出浆料并进行再生处理。

7.根据权利要求6所述的浆料再生装置，其特征在于：

所述再生处理部将再生处理后的一部分浆料送回所述贮存罐。

8.根据权利要求6所述的浆料再生装置，其特征在于：

所述再生处理部是离心分离部和膜分离部中的至少一个，其中，

所述离心分离部对浆料进行离心分离，将浆料分离为以高浓度含有切削屑的固体成分和以低浓度含有切削屑且送回所述贮存罐而被循环利用的离心分离液，

所述膜分离部对浆料进行膜分离，将浆料分离为浓缩含有切削屑且送回所述贮存罐而被循环利用的浓缩液和不含切削屑的膜过滤液。

9.根据权利要求6所述的浆料再生装置，其特征在于，所述再生处理部包括：

至少一个离心分离部，对浆料进行离心分离，将浆料分离为以高浓度含有切削屑的固体成分和以低浓度含有切削屑且送回所述贮存罐而被循环利用的离心分离液；以及

至少一个膜分离部，对浆料进行膜分离，将浆料分离为浓缩含有切削屑且送回所述贮存罐而被循环利用的浓缩液和不含切削屑的膜过滤液，其中，

至少一个离心分离部与至少一个膜分离部并行地对浆料进行再生处理。

10.根据权利要求1所述的浆料再生装置，其特征在于还包括：

液面检测装置，用于检测贮存于所述贮存罐中的浆料的液面。

11.根据权利要求10所述的浆料再生装置，其特征在于：

所述液面检测装置包括能够检测指定的下限液面的传感器，

所述浆料再生装置还包括：

导管，连接所述储备罐与所述贮存罐；

泵，能够将所述储备罐内的浆料经由所述导管而输送到所述贮存罐；以及

供应调整控制部，在所述传感器检测到所述下限液面时，驱动所述泵，使得浆料从所述储备罐经由所述导管被供应到所述贮存罐。

12.根据权利要求1所述的浆料再生装置，其特征在于还包括：

加热器，用于对贮存于所述贮存罐中的浆料进行加热。

13.根据权利要求1所述的浆料再生装置，其特征在于还包括：

搅拌部，用于对贮存于所述贮存罐中的浆料进行搅拌。