[实用新型]一种反应腔体清洁装置及化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种反应腔体清洁装置，包括：第一管道、收集粉尘的收集装置、处理气体的气体处理装置，其特征在于，所述反应腔体清洁装置还包括第二管道和收集气体的抽气装置，其中，

所述收集装置连接于所述第一管道的末端，所述抽气装置连接于所述第二管道的末端，所述抽气装置与所述气体处理装置连接。

2.根据权利要求1所述的反应腔体清洁装置，其特征在于，还包括过滤粉尘的过滤装置，所述过滤装置设置于所述第二管道内靠近所述第二管道的入口处。

3.根据权利要求2所述的反应腔体清洁装置，其特征在于，所述过滤装置为可拆卸式过滤装置。

4.根据权利要求3所述的反应腔体清洁装置，其特征在于，还包括对所述第一管道的部分区域进行加热的加热装置，所述加热装置设置于所述第一管道的外部靠近上方区域。

5.根据权利要求4所述的反应腔体清洁装置，其特征在于，还包括第一控制开关，所述第一控制开关设置于所述第一管道上。

6.根据权利要求5所述的反应腔体清洁装置，其特征在于，还包括第二控制开关，所述第二控制开关设置于所述第二管道上。

7.根据权利要求6所述的反应腔体清洁装置，其特征在于，所述第一控制开关位于所述第一管道和所述第二管道连接处的下方；所述第二控制开关位于靠近所述过滤装置处。

8.根据权利要求7所述的反应腔体清洁装置，其特征在于，所述第二控制开关位于所述过滤装置与所述抽气装置之间且靠近所述过滤装置处。

9.一种化学气相沉积设备，包括反应腔体清洁装置，其特征在于，所述反应腔体清洁装置采用权利要求1-8任一所述的反应腔体清洁装置。