[实用新型]四层结构片式氧传感器

权利要求书

1.一种四层结构片式氧传感器，包括自上向下依次设置的敏感元件层(1)、空气通道层(2)和加热层(3)，所述加热层(3)由加热基片层(4)、以及设于加热基片层(4)上方的加热电极绝缘层(5)组成，其特征在于：所述加热电极绝缘层(5)和空气通道层(2)之间还设有一氧化锆基片层(6)，所述氧化锆基片层(6)包括氧化锆基片(61)，所述氧化锆基片(61)的下表面设有一绝缘印刷层一(62)。

2.根据权利要求1所述的一种四层结构片式氧传感器，其特征在于：所述敏感元件层(1)由敏感元件层本体(11)、外电极(12)和内电极(13)组成，所述外电极(12)设于敏感元件层本体(1)的上表面，所述内电极(13)设于敏感元件层本体(1)的下表面，且连接内电极(13)的引脚一(14)设于敏感元件层本体(1)的上表面，所述引脚一(14)上设有内电极通孔(15)。

3.根据权利要求1所述的一种四层结构片式氧传感器，其特征在于：所述空气通道层(2)包括空气通道层本体(21)，且所述空气通道层本体(21)内设有空腔室(22)。

4.根据权利要求1所述的一种四层结构片式氧传感器，其特征在于：所述加热电极绝缘层(5)包括加热电极(51)，所述加热电极(51)的下方设有绝缘印刷层二(52)，所述加热电极设于绝缘印刷层一(62)和绝缘印刷层二(52)之间，所述加热基片层(4)包括加热基片层本体(41)，连接加热电极(51)的引脚二(43)设于加热基片层本体(41)的下表面，且引脚二(43)上设有加热电极通孔(44)。

5.根据权利要求2或4所述的一种四层结构片式氧传感器，其特征在于：所述敏感元件层本体(11)上表面位于引脚一(14)周围印设有多孔保护层(16)，所述加热基片层本体(41)下表面位于引脚二(43)周围印设有绝缘层(45)。

6.根据权利要求1、2或4所述的一种四层结构片式氧传感器，其特征在于：所述敏感元件层本体(11)、空气通道层本体(21)、加热基片层本体(41)和氧化锆基片(61)均采用氧化锆材料流延制得，且四者的长度和宽度相同，其长度为70-80mm，宽度为6-7mm，所述空气通道本体(21)和氧化锆基片(61)厚度一样，为0.3-0.4mm；所述敏感层本体(11)及加热基片层本体(41)厚度均为0.6-0.8mm。

7.根据权利要求3所述的一种四层结构片式氧传感器，其特征在于：所述空腔室(22)的横截面为大小不同的矩形一(23)和矩形二(24)组成，所述矩形一(23)的长为8-12mm，宽为1.1-1.5mm；所述矩形二(24)的长为60-70mm，宽为0.6-1.0mm。