[实用新型]一种硅片切片机张力臂CDA系统有效
| 申请号： | 201320376345.8 | 申请日： | 2013-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN203305393U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 张立鲁 | 申请（专利权）人： | 宇骏（潍坊）新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 潍坊正信专利事务所 37216 | 代理人： | 王秀芝 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切片机 力臂 cda 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片切片机张力臂CDA系统，包括与厂务端CDA系统的输出端连通的增压缸，所述增压缸的输出端连通有缓冲缸，所述缓冲缸的输出端连通张力臂气缸，其特征在于：所述缓冲缸与所述张力臂气缸之间的管路上设有比例调节阀。
2.如权利要求1所述的硅片切片机张力臂CDA系统，其特征在于：所述比例调节阀为止回阀。
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