[实用新型]用于晶片角度分选仪的测片台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于晶片角度分选的仪器，尤其涉及一种用于晶片角度分选仪的测片台。

背景技术

随着数字技术和网络技术的发展，全球晶体元件需求量剧增，并且向高强度、高稳定、高可靠、轻量化和多功能化发展。我国是世界水晶材料生产大国，但在晶体器件的产量和档次上却远远落后于日本、美国甚至台湾、韩国。材料的投入产出比在世界上处于较低水平。由于国产晶体元器件的档次低，所以即使在国内市场上，国产晶体只占有20%的市场份额，形成这种局面主要原因有两点：第一是所生产的晶体材料多数品质数额低；第二是晶体元器件生产设备落后，检测、分选设备自动化程度小、精度低。国内厂家在晶片角度分选上基本采用在X射线定向仪上由人工进行分选，这样一来不但速度慢，约3000片/人.天，而且人工检测误差大，很难分选准确。在美国、德国与一些发达国家所制造的角度自动分选仪，但是其价位高，不适用于晶片的小型化生产。

目前采用的用于晶片角度分选仪的测片台在对晶片进行固定时，大多采用弹簧和重物块相组合成的机械结构，这种单纯的采用机械结构的方式在对晶片进行固定时，会出现固定力度过大或是过小的问题，当固定力度过大时会损害晶片，固定力度过小则会使得固定不够稳定。

发明内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种对晶片的固定力度精确度高的用于晶片角度分选仪的测片台。

为了达到上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：

一种用于晶片角度分选仪的测片台，包括支架、微处理器、液压缸和压力传感器，所述液压缸设置在所述支架的凹槽内，所述压力传感器的固定端与所述液压缸的活塞杆的顶端连接，所述微处理器的控制信号输出端与所述液压缸的控制信号输入端连接，所述微处理器的数据输入端与所述压力传感器的数据输出端连接。

所述用于晶片角度分选仪的测片台，还包括橡胶垫，所述橡胶垫的一端与所述压力传感器的测压端连接，另一端与晶片接触。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型用于晶片角度分选仪的测片台，通过压力传感器测得液压缸的液压杆对晶片的固定力的大小，并将数据信息发送到微处理器，微处理器根据这个数据信息对液压缸进行调控，将对晶片的固定力的大小控制在一个适宜的范围内，有效的避免对晶片的固定力度过大或过小所造成的问题。

附图说明

图1是本实用新型所述用于晶片角度分选仪的测片台的结构示意图。

图中：1-支架，2-液压缸，3-微处理器，4-压力传感器，5-橡胶垫。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

如图1所示，本实用新型用于晶片角度分选仪的测片台，包括支架1、微处理器2、液压缸3和压力传感器4，液压缸3设置在支架1的凹槽内，压力传感器4的固定端与液压缸3的活塞杆的顶端连接，微处理器2的控制信号输出端与液压缸3的控制信号输入端连接，微处理器2的数据输入端与压力传感器4的数据输出端连接。

用于晶片角度分选仪的测片台，还包括橡胶垫5，橡胶垫5的一端与压力传感器4的测压端连接，另一端与晶片接触。

本实用新型用于晶片角度分选仪的测片台的工作原理如下：

在晶片角度分选仪工作时，晶片被放入支架1的凹槽内，微处理器2控制液压缸3的活塞杆往前推进，当达到能使晶片固定的值时，液压缸3停止工作。当晶片角度分选仪的压片器压下并推出晶片时，压力传感器4测得压力变小，微处理器2控制液压缸3快速工作，活塞杆快速向前推进，直到压力回到初始的大小，微处理器2控制液压缸3停止工作，橡胶垫5起到了一个缓冲作用，避免液压缸3的活塞杆对晶片的磨损。