[实用新型]用于晶片角度分选仪的测片台有效
| 申请号： | 201320370164.4 | 申请日： | 2013-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN203304207U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 叶竹之 | 申请（专利权）人： | 成都泰美克晶体技术有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 杨春 |
| 地址： | 611731 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 晶片 角度 分选 测片台 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于晶片角度分选仪的测片台，包括支架，其特征在于：还包括微处理器、液压缸和压力传感器，所述液压缸设置在所述支架的凹槽内，所述压力传感器的固定端与所述液压缸的活塞杆的顶端连接，所述微处理器的控制信号输出端与所述液压缸的控制信号输入端连接，所述微处理器的数据输入端与所述压力传感器的数据输出端连接。
2.根据权利要求1所述的用于晶片角度分选仪的测片台，其特征在于：还包括橡胶垫，所述橡胶垫的一端与所述压力传感器的测压端连接，另一端与晶片接触。
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