[实用新型]微机电设备和电子系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及微机电设备和电子系统。

背景技术

众所周知，对微机电系统(MEMS)的使用在各行各业的技术中遇到了不断增长的扩展，并且已经在大范围的应用中产生了令人振奋的结果，尤其是在惯性传感器、微集成陀螺仪以及机电振荡器的生产中。

在对高性能和使用的灵活性的要求不断增加的推动之下，技术已经迅速地发展并且导致了能够检测不同的独立的量的微型化的微机电传感器的生产。例如，关于使用集成在单个裸片中的微结构的多轴运动传感器(加速器和陀螺仪)已经提出了众多解决方案。

然而，趋向微型化和集成的趋势，在对集成在裸片中的传感器与外部环境，尤其是与通常在分开的裸片(dice)上获得的控制设备进行通信的需求方面已经遇到了限制。事实上，集成微结构的裸片的一个重要部分是排他性地专用于容纳与外界连接的接触焊盘。自相矛盾的是，尽管从机电的立场来看，成熟的解决方案提供了极紧凑的微结构设计，但是焊盘和相应的连接线需要的面积却不能够被减小到超过一定的限度。

能够检测若干独立的量的集成的传感器因此需要考虑在面积方面的相当大的支出。

针对连接的设计，除了要解决技术上的困难以外，单位面积产量也很低，并且设备的成本较高。

实用新型内容

本实用新型的目标在于提供使得能够克服上述限制的微机电设备以及电子系统。

根据本实用新型的一个方面，提供一种微机电设备，包括：主体，容纳微机电结构；帽，通过导电键合区域键合至所述主体并且电耦合至所述微机电结构；其中所述帽包括选择模块，所述选择模块具有连接至所述微机电结构的第一选择端子、第二选择端子和至少控制端子，并且所述选择模块选择性地根据与相应运行状况对应的多个耦合配置之一，通过所述控制端子可控制地将所述第二选择端子耦合至相应第一选择端子。

优选地，所述第二选择端子在数目上少于所述第一选择端子。

优选地，所述选择模块包括多个开关，所述多个开关具有耦合至相应第一选择端子的第一导电端子以及耦合至相应第二选择端子的第二导电端子。

优选地，包括被配置成确定每个开关)的状态的驱动部件。

优选地，包括被配置成向所述驱动部件提供至少时钟信号的控制设备。

优选地，所述驱动部件被配置成接收所述时钟信号并且根据所述时钟信号确定每个开关的状态。

优选地，所述开关的所述第一导电端子耦合至相应单独的第一选择端子并且开关的组具有耦合至相同的第二选择端子相应所述第二导电端子。

优选地，所述开关的所述第一导电端子耦合至相应单独的第一选择端子并且开关的组具有耦合至相同的第二选择端子的相应所述第二导电端子，所述驱动部件)被配置成在每个组中一次仅闭合一个开关。

优选地，该微机电设备包括：接触焊盘，布置在所述帽的与所述主体相对的面上，并且耦合至所述选择模块的所述第二选择端子。

优选地，该微机电设备包括：通孔，通过所述帽所述焊盘连接至所述选择模块。

优选地，所述帽包括将所述选择模块的所述第一选择端子连接至所述微机电结构的路由结构。

优选地，所述帽包括将所述选择模块的所述第一选择端子连接至所述微机电结构的路由结构，所述路由结构通过相应通孔将所述选择模块的所述第二选择端子耦合至所述焊盘。

根据本实用新型的第二方面，提供一种电子系统，包括控制单元和根据上述项中的任意一项所述的耦合至所述控制单元的微机电设备(1)。

通过使用上述技术方案，可以至少部分地解决上述技术问题，并获得相应的技术效果。

附图说明

为了更好地理解本实用新型，现在将描述一些本实用新型的实施例，仅通过非限制性的示例并且参考附图的方式，其中：

图1是根据本实用新型的实施例的微机电设备的简化俯视图；

图2是图1的微机电设备的简化框图；

图3是穿过图1的微机电设备的部分的截面；

图4是图1的微机电设备的细节的简化的电路图；

图5是图4的细节的变体的简化的电路图；

图6示出根据图5的变体的关于在微机电设备中使用的量的图；

图7示出根据图5的变体的关于在微机电设备中使用的相关逻辑函数的表格；

图8是根据本实用新型的不同的实施例的微机电设备的简化框图；

图9是根据本实用新型的另一实施例的微机电设备的俯视图；