[实用新型]微机电设备和电子系统

权利要求书

1.一种微机电设备，其特征在于，包括： 

主体(4；104；204；304)，容纳微机电结构(8、10；108；208、210；308)； 

帽(5；105；205；305)，通过导电键合区域(7；207；307)键合至所述主体(4；104；204；304)并且电耦合至所述微机电结构(8，10；108；208；308)； 

其中所述帽(5；105；205；305)包括选择模块(13；213；313)，所述选择模块(13；213；313)具有连接至所述微机电结构(8、10；108；208、210；308)的第一选择端子(13a)、第二选择端子(13b)和至少控制端子(13c)，并且所述选择模块(13；213；313)选择性地根据与相应运行状况对应的多个耦合配置之一，通过所述控制端子(13c)可控制地将所述第二选择端子(13b)耦合至相应第一选择端子(13a)。 

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第二选择端子(13b)在数目上少于所述第一选择端子(13a)。 

3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述选择模块(13；213；313)包括多个开关(21，21’，21”)，所述多个开关(21，21’，21”)具有耦合至相应第一选择端子(13a、13a’、13a”)的第一导电端子以及耦合至相应第二选择端子(13b、13b’、13b”)的第二导电端子。 

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，包括被配置成确定每个开关(21、21’、21”)的状态的驱动部件(14；214；314)。 

5.根据权利要求4所述的设备，包括被配置成向所述驱动部件(14；214；314)提供至少时钟信号(CK1，...，CKM,CK1,CK2；CK)的控制设备(3)。 

6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述驱动部件(14；214；314)被配置成接收所述时钟信号(CK1，...，CKM,CK1,CK2；CK) 并且根据所述时钟信号(CK1，...，CKM,CK1,CK2；CK)确定每个开关(21、21’、21”)的状态。 

7.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述开关(21、21’、21”)的所述第一导电端子耦合至相应单独的第一选择端子(13a、13a’、13a”)并且开关(21、21’、21”)的组(21a、21a’、21a”)具有耦合至相同的第二选择端子(13b、13b’、13b”)的相应所述第二导电端子。 

8.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述开关(21、21’、21”)的所述第一导电端子耦合至相应单独的第一选择端子(13a、13a’、13a”)并且开关(21、21’、21”)的组(21a、21a’、21a”)具有耦合至相同的第二选择端子(13b、13b’、13b”)的相应所述第二导电端子，所述驱动部件(14；214；314)被配置成在每个组(21a、21a’、21a”)中一次仅闭合一个开关(21、21'、21”)。 

9.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，包括： 

接触焊盘(20；220；320)，布置在所述帽(5；105；205；305)的与所述主体(4；104；204；304)相对的面(18b；218b；318b)上，并且耦合至所述选择模块(13；213；313)的所述第二选择端子(13b、13b’、13b”)。 

10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，包括： 

通孔(17；217；317)，通过所述帽(5；105；205；305)将所述焊盘(20；220；320)连接至所述选择模块(13；213；313)。 

11.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述帽(5；105；205；305)包括将所述选择模块(13；213；313)的所述第一选择端子(13a、13a’、13a”)连接至所述微机电结构(8，10；108；208，210；308)的路由结构(15；215；315)。