[实用新型]一种碳化硅涂层石墨基座

说明书

技术领域

本实用新型涉及石墨基座技术领域，特别是涉及一种适用于所有用于蓝绿光LED外延片外延生长的金属有机化合物化学气相沉淀反应室的石墨基座。

背景技术

LED外延片是指在一块加热至适当温度的衬底基片上所生长出的特定单晶薄膜。外延片处于LED产业链中的上游环节，是半导体照明产业技术含量最高、对最终产品品质、成本控制影响最大的环节。近年来，下游应用市场的繁荣带动我国LED产业迅猛发展，外延片市场也迎来发展良机。国内LED外延片产能快速提升，技术水平不断进步，产品已开始进入中高档次。外延片是LED核心器件中的前端高技术产品，我国在这一领域的企业竞争目前仍处于“蓝海”阶段。国内外延片市场的基本格局是外资企业产品技术占据主导，本土厂商逐步崛起。为进一步完善LED产业链，“十二五”期间各级政府将继续加强对上游外延片领域基础研究的投入，中下游企业也在积极向上游拓展，国内LED外延片市场发展前景乐观。

蓝绿光LED用于氮化镓研究的衬底材料比较多，但是能用于生产的衬底目前只有二种，即蓝宝石Al2O3和碳化硅衬底。承载衬底的基座要求：耐高温、热传导率均匀、耐腐蚀、具有较强的抗热应力能力，故该基座一般都采用石墨基座。石墨基座具有很多个口袋，用于放置衬底。蓝绿光气氛含有氨气，会对石墨腐蚀，故需要使用带有碳化硅涂层的石墨基座。现有石墨基座中口袋的结构如图1所示，碳化硅涂层石墨基座的膜厚一般在80-120um之间，比较薄，基盘在旋转的过程中，衬底会对口袋1的边缘A撞击，易出现针孔，针孔一出现，氨气就会腐蚀石墨，最终产生大洞，造成基座报废。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的不足，提高碳化硅涂层基盘的寿命，进而提高蓝、绿光外延片的产量。

本实用新型提出一种碳化硅涂层石墨基座，用于蓝绿光LED外延片外延生长的金属有机化合物化学气相沉淀反应室，其特征在于：石墨基座体上加工有多个口袋，口袋的边缘有倒角，倒角内侧为垂直边。 

较优地，所述倒角≤0.2mm，所述垂直边高度≤0.2mm。

较优地，所述口袋的大小为2英寸或4英寸。

本实用新型的技术方案通过在口袋的边缘采用倒角和垂直边，使得衬底碰撞不到尖点，从而有效的提高碳化硅涂层的寿命。

附图说明

关于本实用新型的优点与精神可以通过以下的实用新型详述及所附图式得到进一步的了解。

图1为现有石墨基座中口袋结构剖视图；

图2为本实用新型石墨基座中口袋结构剖视图；

图3为本实用新型石墨基座结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的具体实施例。

如图2和3所示，本实用新型蓝、绿光外延片生长的碳化硅涂层石墨基座主要包括基座体2和口袋1，基座体2用于支撑和热传导的作用，从而使衬底均匀的受热。石墨基座体2加工多个2 英寸或者4英寸的口袋1，口袋1用于放置衬底的作用。口袋的边缘有倒角3，倒角3的内侧为垂直边4。倒角3的≤0.2mm，垂直边4的高度≤0.2mm，从而避免蓝宝石衬底与尖点接触，有效的提高碳化硅涂层基盘的寿命，有效的提高蓝、绿外延片的产量。

本说明书中所述的只是本实用新型的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对本实用新型的限制。凡本领域技术人员依本实用新型的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本实用新型的范围之内。