[实用新型]一种碳化硅涂层石墨基座有效
| 申请号： | 201320356789.5 | 申请日： | 2013-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN203360621U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 黄建明;詹国彬 | 申请（专利权）人： | 上海东洋炭素有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201611 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 涂层 石墨 基座 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳化硅涂层石墨基座，用于蓝绿光LED外延片外延生长的金属有机化合物化学气相沉淀反应室，其特征在于：石墨基座体上加工有多个口袋，口袋的边缘有倒角，倒角内侧为垂直边。
2. 如权利要求1所述的碳化硅涂层石墨基座，其特征在于所述口袋边缘倒角≤0.2mm，所述垂直边高度≤0.2mm。
3.如权利要求1所述的碳化硅涂层石墨基座，其特征在于所述口袋的大小为2英寸或4英寸。
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