[实用新型]一种多晶硅炉底盘结构

权利要求书

1.一种多晶硅炉底盘结构，包括底盘本体（1），其特征是，所述的底盘本体（1）呈碗状结构，底盘本体（1）内设有沿底盘本体分布的冷却液腔（2），底盘本体（1）的下端外侧面上设有与冷却液腔连通的冷却液进口（3），底盘本体（1）的上端外侧面设有与冷却液腔连通的冷却液出口（4），碗状结构的底盘本体（1）的开口处向外延伸形成法兰连接面（5），底盘本体的中心设有进气孔（6），所述的进气孔（6）内连接有进气管（7）。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅炉底盘结构，其特征是，所述的底盘本体（1）的内侧中心设有两端开口的支撑罩（8），支撑罩（8）与进气管（7）同轴分布，支撑罩（8）的侧面设有若干出气孔（9），支撑罩（8）的上端延伸形成焊接连接面（10）。

3.根据权利要求1或2所述的一种多晶硅炉底盘结构，其特征是，所述的底盘本体（1）上的进气孔（6）的正上方设有布气罩（11），所述的布气罩（11）整体呈半球状结构，布气罩（11）的开口端与进气孔（6）连接，布气罩（11）上还均匀设有若干贯通的布气孔（12）。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅炉底盘结构，其特征是，所述的冷却液进口（3）和冷却液出口（4）上都设有手动阀门（13）。