[实用新型]湿度反馈控制的流量校正系统

权利要求书

1.一种湿度反馈控制的流量校正系统，用于调整一个待校正流量控制讯号，以控制填充至一个晶圆载具内的气体流量值，使该晶圆载具内的气体湿度于一段特定时间内以一条预定湿度曲线下降，其特征在于：该湿度反馈控制的流量校正系统包含一个安装于该晶圆载具的气体输出管路并用于抽取该晶圆载具内的气体的集气装置、一个设置于该晶圆载具与该集气装置间以感测自该晶圆载具排出的气体的湿度并产生一个实际湿度值的湿度感测器、一个与该湿度感测器电连接并用于产生该待校正流量控制讯号的主控计算机设备，及一个安装于该晶圆载具的气体输入管路并与该主控计算机设备电连接且根据所接收的一个目标流量讯号控制调节该气体输入管路内气体的流量的质量流量控制器，该待校正流量控制讯号包括该特定时间内的每一个时间点的流量控制参数，该主控计算机设备包括一个依据该待校正流量控制讯号且在该特定时间内的每一个时间点输出对应的流量控制参数的流量讯号控制模组、一个连接该流量讯号控制模组及该湿度感测器以调整该待校正流量控制讯号的对应时间点的流量控制参数的校正回圈判定模组，及一个电连接该流量讯号控制模组及该质量流量控制器且根据所接收的流量控制参数输出该目标流量讯号的程式控制器。

2.根据权利要求1所述的湿度反馈控制的流量校正系统，其特征在于：该湿度反馈控制的流量校正系统更包含一个位于该集气装置与该晶圆载具的气体输出管路间的集气盒,该湿度感测器设置于该集气盒。