[实用新型]用于太阳能电池板式PECVD钝化的基板有效
| 申请号： | 201320345073.5 | 申请日： | 2013-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN203325873U | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 张辉;赵晨;孟津;张斌;邢国强 | 申请（专利权）人： | 奥特斯维能源（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 刘燕娇 |
| 地址： | 215434 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 太阳能电池 板式 pecvd 钝化 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于太阳能电池板式PECVD钝化的基板，包括用于承载电池片的水平板体，所述板体上具有环绕电池片四周的卡点，其特征在于：所述板体上对应电池片中心的位置镂空。
2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池板式PECVD钝化的基板，其特征在于：所述镂空的形状为圆形。
3.根据权利要求1所述的用于太阳能电池板式PECVD钝化的基板，其特征在于：所述镂空的形状为椭圆形。
4.根据权利要求1所述的用于太阳能电池板式PECVD钝化的基板，其特征在于：所述镂空的形状为正方形。
5.根据权利要求1所述的用于太阳能电池板式PECVD钝化的基板，其特征在于：所述镂空的形状为菱形。
6.根据权利要求1所述的用于太阳能电池板式PECVD钝化的基板，其特征在于：所述镂空的形状为三角形。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
