[实用新型]一种微结构力学性能片外弯曲测试装置

权利要求书

1.一种微结构力学性能片外弯曲测试装置，其特征是包括三维移动平台、抗振固定块、隔振底座、试样安装调整部分、驱动部分、载荷检测部分、位移检测部分和放大观测部分；所述三维移动平台设在隔振底座的一侧，所述抗振固定块设在隔振底座的另一侧，所述试样安装调整部分设在抗振固定块上，所述驱动部分设在三维移动平台上；所述载荷检测部分与驱动部分连接并与与试样安装调整部分对应，载荷检测部分包括顶针、微力传感器及抗振固定块，微力传感器固定在抗振固定块上，顶针固定在致动器上与微力传感器对应；所述位移检测部分设在三维移动平台和抗振固定块之间，所述放大观测部分设在隔振底座上对准试样安装调整部分；所述试样安装调整部分由中央设通孔的载物台和压片组成，载物台固定在力传感器上，力传感器固定在抗振固定块上，压片一侧由固定在载物台上，另一侧用于压紧试样。

2.根据权利要求1所述的微结构力学性能片外弯曲测试装置，其特征是所述三维移动平台包括两个在水平方向正交布置的两个单轴直线运动的水平位移台和一个垂直方向布置的单轴直线运动的垂直位移台。

3.根据权利要求1或2所述的微结构力学性能片外弯曲测试装置，其特征是所述驱动部分包括封装的致动器及固定致动器的固定架，固定架固定在垂直方向的垂直位移台上。

4.根据权利要求3所述的微结构力学性能片外弯曲测试装置，其特征是所述位移检测部分包括位移传感器及位移传感器感应块，位移传感器感应块设在抗振固定块上，位移传感器通过位移传感器连接件固定在致动器上。

5.根据权利要求4所述的微结构力学性能片外弯曲测试装置，其特征是所述放大观测部分包括CCD摄像机、显微镜和三自由度运动支架，三自由度运动支架包括设在隔振底座上的竖杆、沿竖杆运动的横杆、沿横杆运动且绕横杆转动的支杆，CCD摄像机设在显微镜的目镜上，显微镜固定在支杆上并对准试样安装调整部分载物台上的通孔。