[实用新型]应用于300毫升化学机械研磨的泥浆装置有效
| 申请号： | 201320335719.1 | 申请日： | 2013-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN203343897U | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 唐强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 应用于 300 毫升 化学 机械 研磨 泥浆 装置 | ||
1.一种应用于300毫升化学机械研磨的泥浆装置，其特征在于，包括：泥浆手臂装置、第一泥浆手臂、第二泥浆手臂、第一泥浆喷嘴、第二泥浆喷嘴；
所述第一泥浆手臂和第二泥浆手臂分别与所述泥浆手臂装置连接；
所述第一泥浆喷嘴与所述第一泥浆手臂连接；
所述第二泥浆喷嘴与所述第二泥浆手臂连接。
2.根据权利要求1所述的应用于300毫升化学机械研磨的泥浆装置，其特征在于，还包括：PC头和PC手臂；
所述PC头与所述第二泥浆喷嘴相对设置；
所述PC手臂与所述PC头连接。
3.根据权利要求1所述的应用于300毫升化学机械研磨的泥浆装置，其特征在于，还包括：第一泥浆流管，所述第一泥浆流管一端与所述泥浆手臂装置连接，另一端与所述第一泥浆手臂连接。
4.根据权利要求3所述的应用于300毫升化学机械研磨的泥浆装置，其特征在于，还包括：第一流量计，所述第一流量计一端与所述第一泥浆流管连接，另一端与所述第一泥浆手臂连接。
5.根据权利要求1所述的应用于300毫升化学机械研磨的泥浆装置，其特征在于，还包括：第二泥浆流管，所述第二泥浆流管一端与所述泥浆手臂装置连接，另一端与所述第二泥浆手臂连接。
6.根据权利要求5所述的应用于300毫升化学机械研磨的泥浆装置，其特征在于，还包括：第二流量计，所述第二流量计一端与所述第二泥浆流管连接，另一端与所述第二泥浆手臂连接。
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