[实用新型]一种基板清洗系统有效
申请号: | 201320313688.X | 申请日: | 2013-05-31 |
公开(公告)号: | CN203292158U | 公开(公告)日: | 2013-11-20 |
发明(设计)人: | 齐永莲;舒适;王灿;惠官宝 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | B08B11/04 | 分类号: | B08B11/04 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 清洗 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及显示装置制造技术领域,特别涉及到一种基板清洗系统。
背景技术
在液晶显示设备的制作过程中,通常采用基板作为衬底来制作彩膜基板,在制作彩膜基板之前需通过基板清洗系统将基板冲洗干净,使基板的表面保持较高的清洁度。目前的基板清洗系统采用传送带传送基板,使基板依次通过各个清洗装置进行清洗,采用这种方式只能清洗基板的一面。而在制作采用ADS(ADvanced Super Dimension Switch,高级超维场转换技术,简称ADS)模式的彩膜基板时,还需要在基板上设置透明电极,因此,基板的两面均需要进行清洗。目前,为了使基板清洗系统能够清洗基板的两面,通常采用人工翻转的方式,将清洗完一面的基板进行翻转,再次重新送入到基板基板清洗系统进行清洗。
现有技术的缺陷在于,采用人工翻转的方式容易对基板造成二次污染,且人工翻转的效率比较低,容易出现基板破碎的事故,从而影响到基板清洗的效率。
实用新型内容
本实用新型提供了一种基板清洗系统,用以提高对基板进行清洗的效率。
本实用新型提供了一种基板清洗系统,包括:
传送基板的传送装置,所述传送装置包括传送带以及设置在传送带两侧的支架;
设置于所述传送带上方并用于清洗基板的清洗装置;
用于翻转清洗后的基板的翻转装置,包括:分别铰连接于所述传送带两侧支架的两个夹持件;所述两个夹持件夹持于基板相对的两个侧边。
优选的,所述夹持件包括夹持基板侧边的夹持臂,以及与所述夹持臂固定连接的机械臂,所述机械臂铰连接于所述传送带一侧的支架。
优选的,所述机械臂为伸缩杆。
优选的,所述夹持件包括夹持基板侧边的夹持臂,所述夹持臂铰连接于所述传送带一侧的支架。
优选的,所述翻转装置还包括:驱动两个夹持件夹持于基板相对的两个侧边并带动基板翻转的驱动机构。
优选的,所述夹持臂为U形架,在夹持基板时,所述夹持臂夹持于所述基板的侧边。
优选的,所述夹持臂为真空吸盘;所述翻转装置还包括与所述真空吸盘连接的气泵,所述气泵在夹持臂夹持基板时抽空真空吸盘内的空气。
优选的,翻转装置还包括:多个传感器以及与所述多个传感器连接的控制单元,所述传感器检测基板的位置;所述控制单元接收基板位置信号并依据信号控制驱动机构使两个夹持件夹持于基板相对的两个侧边并带动基板翻转。
优选的,所述清洗装置包括:沿基板传送方向依次设置的毛刷清扫装置、高压喷气清扫装置、喷淋装置、冲洗装置和风干装置。
本实用新型有益效果如下:通过采用带有翻转装置的基板清洗系统来清洗基板,避免了基板在翻转时受到二次污染,以及在翻转过程中基板破碎的现象,从而提高了基板在清洗时的效率。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的基板清洗系统的示意图;
图2为本实用新型实施例提供的翻转装置的结构示意图;
图3为本实用新型实施例提供的翻转装置的工作示意图。
附图标记:
10-传送装置 20-毛刷清扫装置 30-高压喷气清扫装置
40-喷淋装置 50-冲洗装置 60-风干装置。
70-翻转装置 71-控制单元 72-夹持件
73-机械臂 74-夹持臂 80-基板
具体实施方式
为了提高基板清洗的效率,本实用新型提供了一种基板清洗系统。在本实用新型的技术方案中,通过采用翻转装置将基板进行翻转,避免了基板在翻转时出现破碎,同时还避免了基板受到二次污染,提高了基板清洗的效率。为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,以下举实施例对本实用新型作进一步详细说明。
如图1和图2所示,图1为本实用新型实施例提供的基板清洗系统的示意图;图2为本实用新型实施例提供的翻转装置的结构示意图。
本实用新型实施例提供的一种基板清洗系统,包括:
传送基板80的传送装置10,所述传送装置10包括传送带(图中未示出)以及设置在传送带两侧的支架(图中未示出);
设置于所述传送带上方并用于清洗基板80的清洗装置(图中未示出);
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