[实用新型]一种基板清洗系统

权利要求书

1.一种基板清洗系统，其特征在于，包括： 

传送基板的传送装置，所述传送装置包括传送带以及设置在传送带两侧的支架； 

设置于所述传送带上方并用于清洗基板的清洗装置； 

用于翻转清洗后的基板的翻转装置，包括：分别铰连接于所述传送带两侧支架的两个夹持件；所述两个夹持件夹持于基板相对的两个侧边。 

2.如权利要求1所述的基板清洗系统，其特征在于，所述夹持件包括夹持基板侧边的夹持臂，以及与所述夹持臂固定连接的机械臂，所述机械臂铰连接于所述传送带一侧的支架。 

3.如权利要求2所述的基板清洗系统，其特征在于，所述机械臂为伸缩杆。 

4.如权利要求1所述的基板清洗系统，其特征在于，所述夹持件包括夹持基板侧边的夹持臂，所述夹持臂铰连接于所述传送带一侧的支架。 

5.如权利要求2～4任一项所述的基板清洗系统，其特征在于，所述翻转装置还包括：驱动两个夹持件夹持于基板相对的两个侧边并带动基板翻转的驱动机构。 

6.如权利要求5所述的基板清洗系统，其特征在于，所述夹持臂为U形架，在夹持基板时，所述夹持臂夹持于所述基板的侧边。 

7.如权利要求5所述的基板清洗系统，其特征在于，所述夹持臂为真空吸盘；所述翻转装置还包括与所述真空吸盘连接的气泵，所述气泵在夹持臂夹持基板时抽空真空吸盘内的空气。 

8.如权利要求5所述的基板清洗系统，其特征在于，翻转装置还包括：多个传感器以及与所述多个传感器连接的控制单元，所述传感器检测基板的位置；所述控制单元接收基板位置信号并依据信号控制驱动机构使两个夹持件夹持于基板相对的两个侧边并带动基板翻转。 

9.如权利要求1所述的基板清洗系统，其特征在于，所述清洗装置包括：沿基板传送方向依次设置的毛刷清扫装置、高压喷气清扫装置、喷淋装置、冲洗装置和风干装置。