[实用新型]硅片清洗槽有效
| 申请号： | 201320306796.4 | 申请日： | 2013-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN203265215U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 俞超;吕海强;石少华;刘飞;杜同江 | 申请（专利权）人： | 浙江金乐太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/08 |
| 代理公司： | 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 | 代理人： | 胡小永 |
| 地址： | 315201 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片清洗槽，其特征在于：包括清洗槽本体（1）和水泵（6），所述清洗槽本体（1）的侧壁内部成型有腔体，所述腔体内设有垂直隔板（2），所述垂直隔板（2）将所述腔体隔成内腔（32）和外腔（31），所述垂直隔板（2）的顶部设有缺口，所述内腔（32）和外腔（31）通过所述缺口连通，所述外腔（31）的底部开设有出水口（5），所述水泵（6）安装在所述出水口（5）上，所述清洗槽本体（1）的内壁开设有筛孔（4），所述清洗槽本体（1）的底部开设有排污口（7），所述排污口（7）上设有阀（8）。
2.如权利要求1所述的硅片清洗槽，其特征在于：所述阀（8）为电磁阀。
3.如权利要求1所述的硅片清洗槽，其特征在于：所述筛孔（4）的直径大于等于0.5mm且小于等于5mm。
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