[实用新型]一种喷淋系统及湿法刻蚀装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及基板刻蚀技术领域，特别涉及一种喷淋系统及湿法刻蚀装置。

背景技术

在基板制作过程中，一般是利用湿法刻蚀装置对基板上的金属膜层进行刻蚀以形成所需的图案。湿法刻蚀装置包括：真空室，设置于真空室顶部的喷淋系统；在将基板送入真空室的喷淋区间后，喷淋系统向基板喷淋刻蚀液，刻蚀基板上的金属膜层以形成所需的图案。

如图1所示，为现有技术中一种喷淋系统的结构示意图。该喷淋系统包括两个喷淋单元，每个喷淋单元包括：输送刻蚀液的主管路10，分别与主管路10连通并等间距排列的数个喷淋管道11，每个喷淋管道11上设置有多个喷嘴111，垂直于数个喷淋管道11并分别与数个喷淋管道11固定连接的拉杆12，分别位于拉杆12两端用于支撑拉杆12的滚轴组件13和滑块组件14，以及与滑块组件14传动连接用于驱动拉杆12前后移动的电机15；其中，滚轴组件13包括：固定在真空室内壁上的支座131，滚动安装在支座131上的滚轴132，且滚轴132与拉杆12一端接触；滑块组件14包括：固定在真空室内壁上的两个平行导轨141，且每个导轨141与拉杆12长度方向平行，滑动安装在两个导轨141上的滑块142，且滑块142与电机15传动连接（图中未画出142与15的连接关系），滑块142与拉杆12另一端固定连接。喷淋时，电机15驱动拉杆12相对滚轴组件13和滑块组件14前后移动，拉杆12带动数个喷淋管道11前后移动，刻蚀液在数个喷淋管道11前后移动的过程中喷洒在基板上。

在现有的喷淋系统中，数个喷淋管道11和拉杆12是由滚轴组件13和滑块组件14支撑的，拉杆12在滚轴132上做前后往复运动，对拉杆12和滚轴132的磨损较大，易出现滚轴132磨坏卡死现象和过刻现象，影响刻蚀的均匀性；此外，在拉杆12与滚轴132摩擦运动时，摩擦产生的碎屑会掉在基板表面，影响刻蚀的良品率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种喷淋系统及湿法刻蚀装置，用于提高刻蚀的良品率。

为了实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种喷淋系统，包括：

位置固定且相对设置的两个支撑架；

位于所述两个支撑架之间的多个等间距排列的喷淋管道组，每个所述喷淋管道组的两端分别与两个支撑架相连，每个所述喷淋管道组包含至少一个喷淋管道和至少一个转轴，每个所述喷淋管道的至少一端与转轴固定连接；每个所述喷淋管道具有多个喷嘴；

多个摆动块，每个摆动块的一端与一个所述转轴固定连接，每个所述摆动块在垂直于所述喷淋管道的平面内摆动；

分别与所述多个摆动块另一端连接的拉杆；

与所述拉杆传动连接的动力装置，所述拉杆在所述动力装置的驱动下带动所述多个摆动块摆动，所述喷淋管道在对应的摆动块和转轴的带动下转动；

以及分别与各个所述喷淋管道连通，为各个所述喷淋管道提供液体的液体供应管道。

优选地，每个所述支撑架为具有多个安装孔的支撑块，对应的所述喷淋管道组的一端通过轴承安装在所述安装孔中。

优选地，所述转轴为空心圆筒，对应的所述摆动块固定在所述空心圆筒外表面，对应的喷淋管道的一端伸入所述空心圆筒内并固定。

优选地，每个所述喷淋管道组还包括：位于两个支撑架之间，用于承载所述喷淋管道的管道架。

较佳地，所述管道架为在长度方向开设有限位槽的圆柱体杆，对应的所述喷淋管道安装在所述限位槽中。

进一步地，上述喷淋系统还包括：至少一个固定板，所述固定板与所述转轴相连接，且所述转轴可绕自身轴心转动。

优选地，每个所述固定板具有一个轴承孔，所述转轴通过轴承安装在所述轴承孔中。

进一步地，上述喷淋系统还包括：还包括：位于所述拉杆一端、检测所述拉杆移动位置的位置传感器。

优选地，所述喷淋管道组包含两个或两个以上的喷淋管道，每两个喷淋管道之间通过转轴固定连接。

本实用新型同时还提供了一种湿法刻蚀装置，包括具有上述特征的喷淋系统。

本实用新型提供的喷淋系统，通过动力装置带动拉杆前后移动来带动多个摆动块摆动，从而带动分别与多摆动块相连的多个转轴转动，进而带动喷淋管道组转动以完成刻蚀液的喷淋；与现有技术相比，采用本实用新型提供的喷淋系统，可以减轻各运动部件之间的摩擦损耗，减少了磨坏卡死现象、过刻现象出现以及摩擦碎屑产生，提高了刻蚀液喷淋的均匀性，从而提高了刻蚀的良品率；此外，本实用新型提供的喷淋系统，结构简单，拆卸方便，易于对喷淋系统进行检修和维护。

附图说明