[实用新型]一种喷淋系统及湿法刻蚀装置

权利要求书

1.一种喷淋系统，其特征在于，包括：

位置固定且相对设置的两个支撑架；

位于所述两个支撑架之间的多个等间距排列的喷淋管道组，每个所述喷淋管道组的两端分别与两个支撑架相连，每个所述喷淋管道组包含至少一个喷淋管道和至少一个转轴，每个所述喷淋管道的至少一端与转轴固定连接；每个所述喷淋管道具有多个喷嘴；

多个摆动块，每个摆动块的一端与一个所述转轴固定连接，每个所述摆动块在垂直于所述喷淋管道的平面内摆动；

分别与所述多个摆动块另一端连接的拉杆；

与所述拉杆传动连接的动力装置，所述拉杆在所述动力装置的驱动下带动所述多个摆动块摆动，所述喷淋管道在对应的摆动块和转轴的带动下转动；

以及分别与各个所述喷淋管道连通，为各个所述喷淋管道提供液体的液体供应管道。

2.如权利要求1所述的喷淋系统，其特征在于，每个所述支撑架为具有多个安装孔的支撑块，对应的所述喷淋管道组的一端通过轴承安装在所述安装孔中。

3.如权利要求1所述的喷淋系统，其特征在于，所述转轴为空心圆筒，对应的所述摆动块固定在所述空心圆筒外表面，对应的喷淋管道的一端伸入所述空心圆筒内并固定。

4.如权利要求1所述的喷淋系统，其特征在于，每个所述喷淋管道组还包括：位于两个支撑架之间，用于承载所述喷淋管道的管道架。

5.如权利要求4所述的喷淋系统，其特征在于，所述管道架为在长度方向开设有限位槽的圆柱体杆，对应的所述喷淋管道安装在所述限位槽中。

6.如权利要求1所述的喷淋系统，其特征在于，还包括：至少一个固定板，所述固定板与所述转轴相连接，且所述转轴可绕自身轴心转动。

7.如权利要求6所述的喷淋系统，其特征在于，每个所述固定板具有一个轴承孔，所述转轴通过轴承安装在所述轴承孔中。

8.如权利要求1所述的喷淋系统，其特征在于，还包括：位于所述拉杆一端、检测所述拉杆移动位置的位置传感器。

9.如权利要求1-8任一项所述的喷淋系统，其特征在于，所述喷淋管道组包含两个或两个以上的喷淋管道，每两个喷淋管道之间通过转轴固定连接。

10.一种湿法刻蚀装置，其特征在于，包括：如权利要求1-9任一所述的喷淋系统。