[实用新型]清洗槽有效

专利信息
申请号: 201320259750.1 申请日: 2013-05-14
公开(公告)号: CN203281549U 公开(公告)日: 2013-11-13
发明(设计)人: 唐强;李广宁 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: B08B3/14 分类号: B08B3/14;B08B3/10;B08B3/12
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 清洗
【权利要求书】:

1.一种清洗槽,包括一内清洗槽,所述内清洗槽具有一底壁以及连接于所述底壁上的四个侧壁,其特征在于,所述内清洗槽还包括:

一过滤网;以及

一自动开关的槽盖,所述槽盖与所述底壁相对设置并位于所述侧壁上,所述槽盖与所述底壁和侧壁围成一封闭的容纳空间;

其中,至少一个所述侧壁在靠近槽盖的一端上设置有一开口,所述开口被所述过滤网覆盖。

2.如权利要求1所述清洗槽,其特征在于,所述过滤网的材料均为聚丙烯树脂。

3.如权利要求2所述清洗槽,其特征在于,所述过滤网包括从槽内至槽外依次编织的内层滤网和外层滤网,所述内层滤网由内层纤维编织而成,所述外层滤网由外层纤维编织而成。

4.如权利要求3所述清洗槽,其特征在于,所述内层纤维的线径大于所述外层纤维的线径。

5.如权利要求3或4所述清洗槽,其特征在于,所述内层纤维的编织密度高于所述外层纤维的编织密度。

6.如权利要求1所述清洗槽,其特征在于,每个所述侧壁在靠近槽盖的一端上均设置有所述开口,多个所述开口连接形成一封闭环。

7.如权利要求1所述清洗槽,其特征在于,所述内清洗槽还包括一控制气缸,所述控制气缸与所述槽盖连接。

8.如权利要求1所述清洗槽,其特征在于,还包括一外清洗槽,所述外清洗槽包括一敞口槽体,所述内清洗槽设置于所述外清洗槽内。

9.如权利要求8所述清洗槽,其特征在于,所述内清洗槽还包括:

设置于所述底壁上的超声波振动器;以及

设置于所述侧壁上的旋转装置。

10.如权利要求9所述清洗槽,其特征在于,所述内清洗槽的底壁上设有进液口,所述内清洗槽的所述侧壁设置有出液口。

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