[实用新型]清洗槽有效
申请号: | 201320259750.1 | 申请日: | 2013-05-14 |
公开(公告)号: | CN203281549U | 公开(公告)日: | 2013-11-13 |
发明(设计)人: | 唐强;李广宁 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | B08B3/14 | 分类号: | B08B3/14;B08B3/10;B08B3/12 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 清洗 | ||
1.一种清洗槽,包括一内清洗槽,所述内清洗槽具有一底壁以及连接于所述底壁上的四个侧壁,其特征在于,所述内清洗槽还包括:
一过滤网;以及
一自动开关的槽盖,所述槽盖与所述底壁相对设置并位于所述侧壁上,所述槽盖与所述底壁和侧壁围成一封闭的容纳空间;
其中,至少一个所述侧壁在靠近槽盖的一端上设置有一开口,所述开口被所述过滤网覆盖。
2.如权利要求1所述清洗槽,其特征在于,所述过滤网的材料均为聚丙烯树脂。
3.如权利要求2所述清洗槽,其特征在于,所述过滤网包括从槽内至槽外依次编织的内层滤网和外层滤网,所述内层滤网由内层纤维编织而成,所述外层滤网由外层纤维编织而成。
4.如权利要求3所述清洗槽,其特征在于,所述内层纤维的线径大于所述外层纤维的线径。
5.如权利要求3或4所述清洗槽,其特征在于,所述内层纤维的编织密度高于所述外层纤维的编织密度。
6.如权利要求1所述清洗槽,其特征在于,每个所述侧壁在靠近槽盖的一端上均设置有所述开口,多个所述开口连接形成一封闭环。
7.如权利要求1所述清洗槽,其特征在于,所述内清洗槽还包括一控制气缸,所述控制气缸与所述槽盖连接。
8.如权利要求1所述清洗槽,其特征在于,还包括一外清洗槽,所述外清洗槽包括一敞口槽体,所述内清洗槽设置于所述外清洗槽内。
9.如权利要求8所述清洗槽,其特征在于,所述内清洗槽还包括:
设置于所述底壁上的超声波振动器;以及
设置于所述侧壁上的旋转装置。
10.如权利要求9所述清洗槽,其特征在于,所述内清洗槽的底壁上设有进液口,所述内清洗槽的所述侧壁设置有出液口。
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