[实用新型]一种晶体生长炉坩埚/热屏升降装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体生长炉传动部件技术领域，特别涉及一种晶体生长炉坩埚/热屏升降装置。

背景技术

晶体的生长，是将放有原料的坩埚设置于热场中，将原料熔化为熔体。通过籽晶与熔体的接触，沿籽晶晶向拉伸进行晶体的生长。

在晶体生长的过程中，尤其是蓝宝石晶体晶体生长过程中，为了使晶体生长在合适的温场中，需要将坩埚定位在加热器适合的位置；同时需要通过底部热屏的移动来实现晶体生长全过程所需要的温度梯度，从而生长出优质的晶体。

因此需要相应的升降设备来调整坩埚的高度，以及坩埚与底部热屏之间的距离。目前一般是采用两套完全独立的升降装置来实现，即通过两套导轨或导柱进行导向，两套升降平台等结构实现。而该坩埚与热屏升降装置都处于腔体底部，在有限的空间内同时布置两个升降机构比较困难而且成本高。

因此，针对上述情况，如何优化升降装置的机构，使其体积小型化，从而降低加工成本，成为本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种晶体生长炉坩埚/热屏升降装置，通过优化结构，使体积小型化，从而降低加工成本。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶体生长炉坩埚/热屏升降装置，包括用于带动坩埚运动的坩埚升降结构和用于带动运动热屏运动的热屏升降结构，所述热屏升降结构安装在所述坩埚升降结构的坩埚升降盘上，能够带动所述热屏相对于所述坩埚升降盘运动。

优选的，所述坩埚升降结构包括坩埚轴、坩埚升降盘、升降机、坩埚升降电机、支架和导轨；所述坩埚轴能够穿过晶体生长设备炉底盘，其顶端固定连接于所述坩埚，底端固定连接于所述坩埚升降盘，所述坩埚升降盘能够由所述升降机通过所述坩埚升降电机驱动升降，所述升降机固定在所述支架上，在升降过程中通过所述导轨进行导向。

优选的，所述坩埚轴的中心设有中心孔，用于由其底部通过冷却管通入冷却源。

优选的，所述坩埚轴与第一密封法兰和第二密封法兰之间通过前卡套和后卡套进行密封。

优选的，在所述晶体生长设备炉底盘上装有第一波纹管，所述第一波纹管与所述坩埚轴相连。

优选的，所述热屏升降结构包括热屏升降轴、热屏升降盘、丝杠、热屏升降电机、导柱；所述热屏升降轴能够穿过所述晶体生长设备炉底盘，其顶端固定连接于所述热屏，底端固定连接于所述热屏升降盘，所述热屏升降盘能够由所述丝杠通过热屏升降电机驱动带动升降，所述丝杠安装在所述坩埚升降盘上，通过多根所述导柱进行导向。

优选的，所述热屏升降电机通过同步带带动多根所述丝杠实现上下运动。

优选的，所述热屏升降轴与第三密封法兰和第四密封法兰之间通过前卡套和后卡套进行密封。

优选的，在所述晶体生长设备炉底盘与所述热屏升降轴之间设有第二波纹管。

优选的，所述坩埚轴和所述热屏升降轴均与所述热屏升降盘通过螺母固定。

从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供的晶体生长炉坩埚/热屏升降装置，其热屏升降结构安装在坩埚升降结构的坩埚升降盘上，能够带动热屏相对于坩埚升降盘运动；在使用时，既能够通过坩埚升降结构驱使坩埚和热屏同步运动，又能够通过热屏升降结构单独调整热屏的位置，还能够通过坩埚升降结构和热屏升降结构的反向运动，使坩埚单独进行升降，热屏保持原位。

本方案中的结构，通过共用一个坩埚升降盘，可以实现独立控制升降，互不干涉；结构小型化，大大降低成本；以上优点为晶体生长作了强有力的后盾，通过坩埚升降结构对坩埚进行定位，通过热屏升降结构对热屏进行升降，从而实现晶体生长全过程所需的温度梯度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的晶体生长炉坩埚/热屏升降装置的正面结构示意图；

图2为图1的俯视图；

图3为图1中沿A-A截面的剖视图；

图4为图1中沿B-B截面的剖视图；

图5为本实用新型实施例提供的晶体生长炉坩埚/热屏升降装置的立体结构示意图。