[实用新型]一种晶体生长炉坩埚/热屏升降装置

权利要求书

1.一种晶体生长炉坩埚/热屏升降装置，包括用于带动坩埚（2）运动的坩埚升降结构和用于带动运动热屏（5）运动的热屏升降结构，其特征在于，所述热屏升降结构安装在所述坩埚升降结构的坩埚升降盘（8）上，能够带动所述热屏（5）相对于所述坩埚升降盘（8）运动。

2.根据权利要求1所述的晶体生长炉坩埚/热屏升降装置，其特征在于，所述坩埚升降结构包括坩埚轴（3）、坩埚升降盘（8）、升降机（11）、坩埚升降电机（36）、支架（7）和导轨（34）；所述坩埚轴（3）能够穿过晶体生长设备炉底盘（1），其顶端固定连接于所述坩埚（2），底端固定连接于所述坩埚升降盘（8），所述坩埚升降盘（8）能够由所述升降机（11）通过所述坩埚升降电机（36）驱动升降，所述升降机（11）固定在所述支架（7）上，在升降过程中通过所述导轨（34）进行导向。

3.根据权利要求2所述的晶体生长炉坩埚/热屏升降装置，其特征在于，所述坩埚轴（3）的中心设有中心孔，用于由其底部通过冷却管（4）通入冷却源。

4.根据权利要求3所述的晶体生长炉坩埚/热屏升降装置，其特征在于，所述坩埚轴（3）与第一密封法兰（20）和第二密封法兰（21）之间通过前卡套和后卡套进行密封。

5.根据权利要求4所述的晶体生长炉坩埚/热屏升降装置，其特征在于，在所述晶体生长设备炉底盘（1）上装有第一波纹管（6），所述第一波纹管（6）与所述坩埚轴（3）相连。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的晶体生长炉坩埚/热屏升降装置，其特征在于，所述热屏升降结构包括热屏升降轴（9）、热屏升降盘（24）、丝杠（26）、热屏升降电机（30）、导柱（23）；所述热屏升降轴（9）能够穿过所述晶体生长设备炉底盘（1），其顶端固定连接于所述热屏（5），底端固定连接于所述热屏升降盘（24），所述热屏升降盘（24）能够由所述丝杠（26）通过热屏升降电机（30）驱动带动升降，所述丝杠（26）安装在所述坩埚升降盘（8）上，通过多根所述导柱（23）进行导向。

7.根据权利要求6所述的晶体生长炉坩埚/热屏升降装置，其特征在于，所述热屏升降电机（30）通过同步带（35）带动多根所述丝杠（26）实现上下运动。

8.根据权利要求7所述的晶体生长炉坩埚/热屏升降装置，其特征在于，所述热屏升降轴（9）与第三密封法兰（37）和第四密封法兰（38）之间通过前卡套和后卡套进行密封。

9.根据权利要求8所述的晶体生长炉坩埚/热屏升降装置，其特征在于，在所述晶体生长设备炉底盘（1）与所述热屏升降轴之（9）间设有第二波纹管（18）。

10.根据权利要求9所述的晶体生长炉坩埚/热屏升降装置，其特征在于，所述坩埚轴（3）和所述热屏升降轴（9）均与所述热屏升降盘（24）通过螺母固定。