[实用新型]气氛烧结炉

权利要求书

1.一种气氛烧结炉，其特征在于，其包括一炉壳，所述炉壳内包括一炉膛以及一设置于所述炉膛内用于容纳电子元件芯片的容器，所述气氛烧结炉还包括一驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述容器旋转。

2.如权利要求1所述的气氛烧结炉，其特征在于，所述驱动装置包括一第一支撑架，所述第一支撑架固定于所述炉壳的一第一侧边，且设置于所述容器下方并与所述容器相连接以对所述容器进行支撑，所述第一支撑架中设有一用于驱动所述容器旋转的电机。

3.如权利要求2所述的气氛烧结炉，其特征在于，所述驱动装置还包括一第二支撑架，所述第二支撑架固定于所述炉壳的与所述第一侧边相对应的一第二侧边，且设置于所述容器下方并与所述容器相连接以对所述容器进行支撑。

4.如权利要求1所述的气氛烧结炉，其特征在于，在所述容器两端设有一进气管及一出气管，所述进气管及所述出气管均与所述容器相连通。

5.如权利要求4所述的气氛烧结炉，其特征在于，所述容器为一圆柱形的炉管。

6.如权利要求5所述的气氛烧结炉，其特征在于，所述进气管与所述炉管、所述出气管与所述炉管之间均垫设有一密封垫，且均通过一卡箍卡接。

7.如权利要求6所述的气氛烧结炉，其特征在于，所述进气管的管口处设有一控制进气流量的气体流量控制器。

8.如权利要求1-7中任意一项所述的气氛烧结炉，其特征在于，所述容器的材料为陶瓷纤维。