[实用新型]一种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其是涉及一种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构。

背景技术

传统的真空镀膜设备门阀是通过驱动部分带动阀板将阀体关闭，此种关闭方式完全是通过驱动部分所施加的力进行关闭，其主要缺陷是密封性不够稳定。由于阀板长期处于高温工作状态下，所以不能避免其发生热胀冷缩的变形现象，一旦阀板发生了变形，完全通过驱动部分的力将阀板贴合于阀体的端面是很难保证其密封性的稳定。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的问题提供一种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构，其目的是通过在阀体内部均布安装电磁线圈，保证阀板与阀体贴合密封性的稳定。

本实用新型的技术方案是该种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构，所述的电磁门阀机构包括驱动部分和门阀部分，所述的驱动部分包括连接在一起的联轴器和驱动电机，且联轴器和驱动电机安装在真空室顶板的上方；所述的门阀部分包括相互配合的阀体和阀板，以及安装在真空室顶板下方且与联轴器连接的传动轴，所述的阀板与传动轴通过螺纹连接的方式连接在一起，所述的阀体上靠近阀板的一面安装有电磁线圈，且电磁线圈的外部设有将电磁线圈与阀板隔开的护板；所述的真空室顶板上设有光电开关，所述的阀板上安装有定位块。

所述的阀体上安装电磁线圈的位置为凹槽结构，所述的电磁线圈安装在该凹槽内。

所述的电磁线圈均匀的分布在凹槽内。

具有上述结构的该种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构通过在阀体内部均布安装电磁线圈，该阀体在阀板执行关闭动作时，其电磁线圈得电将阀板牢牢的吸附在其端面；由于阀体内的电磁线圈是均布安装在阀体内部，所以阀板所受到的吸附力均匀，即使阀板产生了一定量的变形，在电磁阀体的吸附下，依旧可是使其保证原有的状态，从而保证了密封性的稳定。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1为本实用新型阀板关闭状态的结构示意图。

图2为本实用新型阀板打开状态的结构示意图。

图3为本实用新型中阀体的结构示意图。

图4为图3所示结构的A-A方向剖视图。

在图1-4中，1：阀体；2：电磁线圈；3：护板；4：阀板；5：传动轴；6：真空室顶板；7：光电开关；8：联轴器；9：驱动电机；10：定位块。

具体实施方式

图1和图2为本实用新型阀板打开和关闭状态下的结构示意图，图3和图4为阀体和阀体的剖视结构示意图。由图1-图4所示结构结合可知，该种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构包括驱动部分和门阀部分，驱动部分包括连接在一起的联轴器8和驱动电机9，且联轴器8和驱动电机9安装在真空室顶板6的上方，该部分处于大气层区域；门阀部分包括相互配合的阀体1和阀板4，以及安装在真空室顶板6下方且与联轴器8连接的传动轴5，即真空室内，该部分处于真空区域；阀板4与传动轴5通过螺纹连接的方式连接在一起，阀体1上靠近阀板4的一面安装有电磁线圈2，且电磁线圈2的外部设有将电磁线圈2与阀板4隔开的护板3；，防护板3主要功能是将电磁线圈2隔离，防止电磁线圈2与阀板4直接接触，起到保护作用；真空室顶板6上设有光电开关7，阀板4上安装有定位块10；阀体1上安装电磁线圈2的位置为凹槽结构，电磁线圈2均匀的分布在凹槽内。

当门阀机构需要处于关闭状态时候，驱动电机9得到信号通过联轴器8带动传动轴5开始旋转，传动轴5与阀板4相互连接，因此阀板4将跟随传动轴5的旋转而运动，当阀板4到达指定位置时候，驱动电机9停止工作。光电开关7检测到安装于阀板4上的定位块10，此时电磁线圈2得到信号开始得电，当电磁线圈2得电时，会将阀板4牢牢吸附于阀体1上，从而实现了电磁门阀机构的关闭和密封。

当电磁门阀机构需要处于打开状态时候，操作人员触动控制开关，电磁线圈2将失电，同时通过控制开关电磁线圈2将得到一股瞬间反向电流，该反向电流主要起到去磁作用，以防止阀板4被电磁线圈2磁化。驱动电机9得到信号通过联轴器8带动传动轴5开始旋转，传动轴5与阀板4相互连接，阀板4将跟随传动轴5的旋转而运动，当阀板4到达指定位置时候，驱动电机9停止工作，门阀机构实现了打开动作。

该种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构通过在阀体内部均布安装电磁线圈，该阀体在阀板执行关闭动作时，其电磁线圈得电将阀板牢牢的吸附在其端面；由于阀体内的电磁线圈是均布安装在阀体内部，所以阀板所受到的吸附力均匀，即使阀板产生了一定量的变形，在电磁阀体的吸附下，依旧可是使其保证原有的状态，从而保证了密封性的稳定。