[实用新型]一种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构有效
| 申请号： | 201320199023.0 | 申请日： | 2013-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN203223611U | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 薛辉;昌江 | 申请（专利权）人： | 芜湖真空科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K27/02 | 分类号： | F16K27/02 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 马荣 |
| 地址： | 241009 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 设备 电磁 门阀 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构，其特征在于：所述的电磁门阀机构包括驱动部分和门阀部分，所述的驱动部分包括连接在一起的联轴器（8）和驱动电机（9），且联轴器（8）和驱动电机（9）安装在真空室顶板（6）的上方；所述的门阀部分包括相互配合的阀体（1）和阀板（4），以及安装在真空室顶板（6）下方且与联轴器（8）连接的传动轴（5），所述的阀板（4）与传动轴（5）通过螺纹连接的方式连接在一起，所述的阀体（1）上靠近阀板（4）的一面安装有电磁线圈（2），且电磁线圈（2）的外部设有将电磁线圈（2）与阀板（4）隔开的护板（3）；所述的真空室顶板（6）上设有光电开关（7），所述的阀板（4）上安装有定位块（10）。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构，其特征在于：所述的阀体（1）上安装电磁线圈（2）的位置为凹槽结构，所述的电磁线圈（2）安装在该凹槽内。
3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜设备的电磁门阀机构，其特征在于：所述的电磁线圈（2）均匀的分布在凹槽内。
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