[实用新型]一种湿法刻蚀机

权利要求书

1.一种湿法刻蚀机，包括内置有注液装置（21）的刻蚀槽（22）和与所述刻蚀槽（22）通过挡板（23）分隔的溢流槽（24），所述注液装置（21）的侧壁开设有注液孔（26）；其特征在于，还包括导气管（25），所述导气管（25）的进气口设置于所述注液装置（21）的腔体内，且位于所述注液孔（26）的上方，所述导气管（25）的出气口设置于所述刻蚀槽（22）内。

2.根据权利要求1所述的湿法刻蚀机，其特征在于，所述导气管（25）穿过所述注液装置（21）的侧壁。

3.根据权利要求2所述的湿法刻蚀机，其特征在于，所述导气管（25）的数目为两根，且两所述导气管（25）并列设置。

4.根据权利要求3所述的湿法刻蚀机，其特征在于，所述导气管（25）为PVDF管。

5.根据权利要求1至4任一项所述的湿法刻蚀机，其特征在于，所述注液孔（26）沿所述注液装置（21）的延伸方向设置一排。

6.根据权利要求5所述的湿法刻蚀机，其特征在于，所述注液孔（26）靠近所述注液装置（21）的底部设置。