[实用新型]温度自动控制的多孔钽加工室装置

说明书

技术领域

本实用新型属于多孔钽加工结构领域，尤其是一种结构简单、提高多孔钽加工效果的温度自动控制的多孔钽加工室装置。 

背景技术

目前，常用的多孔钽加工室电容采用单保护进口和单保护气出口，存在的问题是保护气分布不均匀，而且温度也不能准确控制，导致多孔钽加工质量容易受到影响。 

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单、提高多孔钽加工效果的温度自动控制的多孔钽加工室装置。 

本实用新型的技术方案是：温度自动控制的多孔钽加工室装置，包括加工室(1)，其特征是在所述加工室(1)一侧壁上设置有保护气进口(2)，在相对的另一侧壁上设置两个以上的保护气出口(3)，在加工室(1)的内侧壁上设置有温度传感器(6)，所述温度传感器(6)与计算机相连。 

其特征是在加工室(1)的顶部设置有激光孔(4)。 

所述加工室(1)底部设置有升降平台通道(5)。 

本实用新型的效果是：新型的多孔钽加工室装置，在所述加工室一侧壁上设置有保护气进口，在相对的另一侧壁上设置两个以上的保护气出口，在加工室的内侧壁上设置有温度传感器，所述温度传感器与计算机相连。因此，能够使加工室内保护气分布均匀，同时也能够精确进行温度控制，提高多孔钽的加工质量。 

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明。 

附图说明

附图是本实用新型结构示意图。 

具体实施方式

附图中，温度自动控制的多孔钽加工室装置，包括加工室1，在加工室1一侧壁上设置有保护气进口2，在相对的另一侧壁上设置两个保护气出口3。在加工室1的内侧壁上设置有温度传感器6，所述温度传感器6与计算机相连。 

在加工室1的顶部设置有激光孔4，在加工室1底部设置有升降平台通道5。