[实用新型]温度自动控制的多孔钽加工室装置有效
| 申请号： | 201320187069.0 | 申请日： | 2013-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN203256318U | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 郭建明;杨艳文;郭建军 | 申请（专利权）人： | 青岛高泰新材料有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/08 | 分类号： | C22C1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 温度 自动控制 多孔 加工 装置 | ||
【权利要求书】：
1.温度自动控制的多孔钽加工室装置，包括加工室(1)，其特征是在所述加工室(1)一侧壁上设置有保护气进口(2)，在相对的另一侧壁上设置两个以上的保护气出口(3)，在加工室(1)的内侧壁上设置有温度传感器(6)，所述温度传感器(6)与计算机相连。
2.根据权利要求1所述的温度自动控制的多孔钽加工室装置，其特征是在加工室(1)的顶部设置有激光孔(4)。
3.根据权利要求1或2所述的温度自动控制的多孔钽加工室装置，其特征是所述加工室(1)底部设置有升降平台通道(5)。
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