[实用新型]一种真空设备内循环通水通气的旋转接头装置

说明书

技术领域

本发明属于真空设备领域，特别涉及一种真空设备内的旋转接头装置。

背景技术

太阳能光伏行业、石油、化工、沥青等行业，需要对各种材料进行加热，但为确保物料加热的均匀，物料的加热往往在能够旋转的机械中进行。在多晶硅制造及提纯过程中，存在造渣、定向凝固、电子束熔炼、多晶硅铸锭等多个工艺流程，在这些工艺流程中很多都需要在工作台旋转的过程中，现有的旋转接头在保证真空的条件下大多只允许水、气一种介质通过，或者只能通过气体，或者只能通过冷却水。要实现保证真空条件下的多通道水气的通过，现有技术就是采用更多的旋转接头，从而产生设备体积增大，成本增加，同时也会影响设备的运行稳定。因此，提供一种具有能循环通水通气的旋转接头具有积极意义。

实用新型内容

本发明的目的是克服上述不足问题，提供一种真空设备内循环通水通气的旋转接头装置，该装置能够通过一根可旋转的轴，向真空设备内部通冷却水和气体，实现设备内部降温，并且能保证设备的真空度一直保持在0-5Pa的范围内。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：一种真空设备内循环通水通气的旋转接头装置，其中空心外轴通过推力球轴承和深沟球轴承安装于外壳中部；空心中轴位于空心外轴内部且通过圆锥滚子轴承安装于外壳下部，通气管位于空心中轴内部且其下端固定于空心中轴下部；水冷盘固定连接于空心外轴和空心中轴之上；磁流体旋转接头与通气管下端固定相连；深沟球轴承上安装有顶轴承盖，圆锥滚子轴承上安装有底轴承盖；外壳上开有入水口和出水口，且入水口与空心中轴相连通，出水口与空心外轴相连通。

所述通气管、空心中轴和空心外轴的三条轴线平行，且通气管外壁与空心中轴内壁及空心中轴外壁与空心外轴内壁之间形成的空间为通水管。

所述的通水管上安装有骨架油封装置。

所述的通气管上装有密封圈结构。

所述的磁流体旋转接头与通气管之间为快捷法兰连接。

所述的入水口水平位置低于出水口水平位置。

本实用新型构思独特，制造简单，通过水路将循环水通过水冷轴送到水冷盘，使得设备内部的冷却。且通过真空通气管，向设备内部通入所需气体。通过空心外轴与设备之间的密封结构，保证了设备的真空度的要求，使得设备在轴旋转的过程中，真空度能够维持在0-5Pa的范围内。

综上，本实用新型可提供一种结构简单、操作方便的真空设备内循环通水通气的旋转接头装置，既能通水通气，又能随着炉体旋转，具有功能实用、成本低廉、结构简单、耐用可靠、维修方便的特点。

附图说明

图1为一种真空设备内循环通水通气的旋转接头装置结构简图。

图中，1、水冷盘，2、空心外轴，3、空心中轴，4、通气管，5、顶轴承盖，6、外壳，7、出水口，8、底盖轴承，9、磁流体旋转接头，10、圆锥滚子轴承，11、入水口，12、推力球轴承，

13、深沟球轴承。

具体实施方式

下面结合具体实施例和附图详细说明本发明，但本发明并不局限于具体实施例。

如图1所示的真空设备内循环通水通气的旋转接头装置，其中，空心外轴2通过推力球轴承12和深沟球轴承13安装于外壳6中部；空心中轴3位于空心外轴2内部且通过圆锥滚子轴承10安装于外壳6下部，通气管4位于空心中轴3内部且其下端固定于空心中轴3下部；水冷盘1固定连接于空心外轴2和空心中轴3之上；磁流体旋转接头9与通气管下端固定相连；深沟球轴承13上安装有顶轴承盖5，圆锥滚子轴承10上安装有底轴承盖8；外壳6上开有入水口11和出水口7，且入水口11与空心中轴3相连通，出水口7与空心外轴2相连通。

通气管4、空心中轴3和空心外轴2的三条轴线平行，且通气管4外壁与空心中轴3内部及空心中轴外壁与空心外轴内壁之间形成的空间为通水管。

通水管上安装有骨架油封装置。

通气管4上装有密封圈结构。

磁流体旋转接头9与通气管4之间为快捷法兰连接。

入水口11水平位置低于出水口7水平位置。

需冷却设备时，用皮带带动空心外轴2旋转，同时带动水冷盘1进行旋转。此时打开水泵，将循环水由入水口11进入通水管，经水冷盘1循环后，由出水口7排出。在出水口7处用水温表测量，保证温度在50℃以下。磁流体旋转接头9处连接有气瓶和真空阀门，待设备内部的真空计的真空度降到了3Pa内，打开真空阀门，由通气口将气体通入通气管4内，气体由通气管4通入设备内部。用真空度表测量充入的气体量，待设备内部气压达到800Pa时，关闭阀门，停止通入气体。待设备冷却后，停止通水。