[实用新型]一种真空设备内循环通水通气的旋转接头装置有效

专利信息
申请号: 201320177779.5 申请日: 2013-04-10
公开(公告)号: CN203176587U 公开(公告)日: 2013-09-04
发明(设计)人: 顾正;马福厚 申请(专利权)人: 青岛隆盛晶硅科技有限公司
主分类号: F16L27/08 分类号: F16L27/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266234 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空设备 循环 通水 通气 旋转 接头 装置
【权利要求书】:

1.一种真空设备内循环通水通气的旋转接头装置,其特征是:空心外轴(2)通过推力球轴承(12)和深沟球轴承(13)安装于外壳(6)中部;空心中轴(3)位于空心外轴(2)内部且通过圆锥滚子轴承(10)安装于外壳(6)下部,通气管(4)位于空心中轴(3)内部且其下端固定于空心中轴(3)下部;水冷盘(1)固定连接于空心外轴(2)和空心中轴(3)之上;磁流体旋转接头(9)与通气管下端固定相连;深沟球轴承(13)上安装有顶轴承盖(5),圆锥滚子轴承(10)上安装有底轴承盖(8);外壳(6)上开有入水口(11)和出水口(7),且入水口(11)与空心中轴(3)相连通,出水口(7)与空心外轴(2)相连通。

2.根据权利要求1所述的一种真空设备内循环通水通气的旋转接头装置,其特征是:所述通气管(4)、空心中轴(3)和空心外轴(2)的三条轴线平行,且通气管(4)外壁与空心中轴(3)内壁及空心中轴外壁与空心外轴内壁之间形成的空间为通水管。

3.根据权利要求2所述的一种真空设备内循环通水通气的旋转接头装置,其特征是:所述的通水管上安装有骨架油封装置。

4.根据权利要求1所述的一种真空设备内循环通水通气的旋转接头装置,其特征是:所述的通气管(4)上装有密封圈结构。

5.根据权利要求1所述的一种真空设备内循环通水通气的旋转接头装置,其特征是:所述的磁流体旋转接头(9)与通气管(4)之间为快捷法兰连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空设备内循环通水通气的旋转接头装置,其特征是:所述的入水口(11)水平位置低于出水口(7)水平位置。

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